[发明专利]一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法在审
| 申请号： | 202011347780.9 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112588060A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 马思乐;孙文旭;余平;张兴拓;马晓静;陈纪旸;栾义忠;姜向远 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;C23C16/44;C23C16/30;C23C16/52 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李圣梅 |
| 地址： | 266237 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法，包括：反应腔体，与反应腔体连接的尾气处理管道；尾气处理管道内依次设有过渡区、一级沉积区和二级沉积区，尾气处理管道的出口管道与真空泵的一端连接，真空泵另一端与尾气处理装置连接；解决了在氢化物气相外延设备中引入水和其他杂质，从而影响GaN衬底材料的质量问题，结构设计简单，清理效果好，设备运行成本低，能够及时清除残留沉积物，保证管道不被堵塞，最大限度地去除管道内的NH4C粉尘和废气，使系统高效循环运行，提高设备的利用率，延长设备的维护周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氢化物 外延 尾气 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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