[发明专利]一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法

权利要求书

1.一种新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，包括：反应腔体，与反应腔体连接的尾气处理管道；尾气处理管道内依次设有过渡区、一级沉积区和二级沉积区，尾气处理管道的出口管道与真空泵的一端连接，真空泵另一端与尾气处理装置连接。

2.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，所述过渡区内安装加热器。

3.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，所述二级沉积区内设有二级冷却装置，二级沉积区出口连接空气过滤器，经过空气过滤器过滤的气体进入真空泵，气体在真空泵作用下进入废气处理装置。

4.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，所述反应腔体为GaN反应腔体，GaN反应腔体经管道连接至过渡区，过渡区中设有加热器。

5.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，一级沉淀区和冷却装置配合大孔径氯化铵过滤器主要用于沉积固态NH4Cl。

6.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，尾气处理装置末端采用真空泵前接出口管道，使混合气体被真空泵抽吸通过整个系统。

7.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，所述废弃处理装置采用水洗式废气处理装置。

8.如权利要求1所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置，其特征在于，二级沉积区和冷却装置配合空气过滤器主要用于沉积次要细微的NH₄Cl粉尘。

9.一种新型氢化物气相外延尾气处理装置的使用方法，其特征在于，包括：

制备GaN衬底材料反应后的混合气体，在真空泵作用下，从反应腔体出口端进入尾气处理管道；

混合气体进入过渡区，经过加热器加热后进入一级沉积区；

一级沉淀区的一级冷却装置对混合气体降温，并经过大孔径过滤器的作用下，NH₄Cl固体主要沉积在一级沉积区，其余混合气体进入二级沉淀区；

其余混合气体经过二级冷却装置，再次降温后，凝结生成的细微的NH₄Cl粉尘在空气过滤器的作用下，沉积在二级沉积区，剩余混合气体进入真空泵；

剩余的混合气体经真空泵进入废气处理装置。

10.如权利要求9所述的新型氢化物气相外延尾气处理装置使用方法，其特征在于，通过废弃处理装置处理废弃10～20min后，停止处理废弃并干燥10min左右，向尾气处理装置中通入N₂吹扫5～10min后即可进行下一次的生长尾气处理操作。