[发明专利]一种直拉单晶生产中晶体直径检测方法、系统及设备

摘要

本发明公开了一种直拉单晶生产中晶体直径检测方法、系统及设备，属于直拉式单晶硅生产领域，通过获取熔融硅液表面图像，所述图像包括硅单晶棒和硅溶液的固液界面形成的光圈；根据所述图像拟合出圆的直径，对晶体直径进行计算，得出硅单晶直径的测量值；根据硅单晶直径的测量值，调整拉速和热场温度对直径进行控制，使得晶体直径的变化在预设范围内。本发明可以完成不同生产阶段，不同尺寸晶棒的直径测量，圆拟合的方法相较于三点确定圆的方法来说更加准确也更加稳定。对于光圈下方被遮挡的场景，本发明还可以完成精准测量，本发明依靠像素梯度寻找边界点，不需要进行二值化处理，对于不同图像亮度的差异适应性很强。