[发明专利]应用于板式工件的镀膜系统在审
| 申请号： | 202011189975.5 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112359340A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 力家东;王聪;徐璐;孙桂红;祝海生;黄乐;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种应用于板式工件的镀膜系统，应用于板式工件的镀膜系统包括依次连通的上料台、第一前处理室、镀膜室、第一后处理室以及下料台，所述上料台上设置托盘，所述托盘用于承载基板，所述上料台用于将所述托盘送入所述第一前处理室内，所述下料台用于接受来自于所述第一后处理室流出并卸下所述基板的托盘，所述下料台与所述上料台连通。本发明提供了一种能够方便地对板式工件进行镀膜的镀膜系统。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 板式 工件 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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