[发明专利]一种硒化锑晶体、其制备方法及应用有效
申请号: | 202011167874.8 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN112376113B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 刘新胜;刘永军;刘景玲;李二浩;庄玉君;程轲;杜祖亮 | 申请(专利权)人: | 河南大学 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/58;C30B1/02;C30B28/02;C25B11/087;C25B1/55;C25B1/02 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 张丽 |
地址: | 475001*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开一种硒化锑晶体、其制备方法及应用。本发明通过磁控溅射法制备硒化锑非晶预制层,硒化时将硒源和预制层分别置于双温区快速退火炉的两端,调节载气流量、硒化气压和双温区快速退火炉两端的升温程序,使硒化气压远低于硒源温度下单质硒的饱和蒸汽压,提高硒化时的硒通量,得到一个沿(hk0)取向生长的大晶粒硒化锑晶体。采用本发明的方法制备的硒化锑晶体沿(hk0)取向生长且具有较大的晶粒,有效避免了晶界和悬挂键对载流子传输的影响,提高了在特定方向上载流子的传输速率,能够有效提高光电化学产氢效率,在光电化学领域具有广泛应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 硒化锑 晶体 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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