[发明专利]一种化学机械研磨装置和化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 202011097406.8 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112223107A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 沈国荣 | 申请（专利权）人： | 德清世锦智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/22;B24B47/12;B24B47/14;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京金蓄专利代理有限公司 11544 | 代理人： | 蔡鹤飞 |
| 地址： | 313216 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械研磨技术领域，且公开了一种化学机械研磨装置，包括箱体，箱体内壁底部的右侧安装有传送装置，传送装置由传送带和支架组成，箱体内部的上方安装有夹取装置，夹取装置由滑块一、夹爪和丝杠一组成，箱体的中部安装有浸泡机构，浸泡机构有底座和浸泡箱组成，浸泡箱的内部安装有工装夹具，箱体的顶部安装有传动机构，浸泡箱的上方设有研磨机构，浸泡箱的左侧固定连接有水箱内装有化学研磨药水。本发明通过将需要研磨的物料放置在传送装置上，然后传送装置正转将物料运行到传送装置的左侧，然后夹取装置上的夹爪工作将物料夹起，并且液压推杆二工作将夹爪向上运动，使物料上升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
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