[发明专利]一种室温半导体气体传感材料与传感器的制备方法有效

专利信息
申请号: 202011096552.9 申请日: 2020-10-14
公开(公告)号: CN112326735B 公开(公告)日: 2023-01-10
发明(设计)人: 马建;孙会;李福男;刁丽娜;满文佳;马忻忻 申请(专利权)人: 滕州创感电子科技有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00;C01G23/053;C01G19/02;C01G9/02;C01G3/02;C01B32/194;B82Y30/00
代理公司: 杭州宇信联合知识产权代理有限公司 33401 代理人: 梁群兰
地址: 277500 山东省枣庄市滕*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种室温半导体气体传感材料与传感器的制备方法,所述的气体传感器材料为ZnO‑SnO2:F‑TiO2‑CuO/石墨烯复合纳米材料,以此为传感材料制备室温气体传感器。其制备方法包括下述步骤:单元氧化物纳米材料前驱体液体配制,多元氧化物纳米材料前驱体液体配制,多元氧化物纳米材料合成,多元氧化物/石墨烯复合纳米材料制备,室温气体传感器制作。上述制备技术和工艺前后相继,有机统一,所制备的室温气体传感器,可对硫化氢、乙醇和甲烷等气体实现有效的室温传感,应用于智能化和可穿戴传感产品。
搜索关键词: 一种 室温 半导体 气体 传感 材料 传感器 制备 方法
【主权项】:
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