[发明专利]一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺

摘要

本发明提供了一种石墨件表面沉积碳化硅涂层工艺，包括以下步骤：石墨件表面除杂、喷淋清洗、沉积反应以及石墨件冷却，本发明通过在反应釜内设置置物台，置物台上设置集液组件及可罩设在其上的喷淋组件，喷淋组件中环绕设置有与集液组件连通的冷却组件，并且在切换装置的作用下，喷淋组件和冷却组件在切换装置的引导下交替进行单独工作，使石墨件表面除杂和表面沉积在同一反应釜内完成，解决了现有技术中石墨件表面沉积需要在两个工位中进行导致石墨件转移过程中其表面易出现磨损进而影响沉积效果的技术问题。