[发明专利]储片盒开门装置和半导体工艺设备

摘要

本发明提供一种储片盒开门装置，包括主密封板和设置在主密封板一侧的储片盒传输组件，储片盒传输组件用于承载储片盒并带动储片盒靠近主密封板，以使储片盒的底座与主密封板贴合，储片盒开门装置还包括多个储片盒固定组件，储片盒固定组件设置在主密封板上，用于在储片盒的底座与主密封板贴合后，将储片盒的底座固定在主密封板上。在本发明中，储片盒固定组件能够将储片盒的底座固定在主密封板上，从而在开、关舱门以及取、放晶圆等操作中将储片盒稳定固定在机台上，避免储片盒发生振动，进提高了储片盒中晶圆的定位精度，进而提高了产品良率、降低了半导体设备的维护成本。本发明还提供一种半导体工艺设备。