[发明专利]正型感光性树脂组合物、经图案化的抗蚀剂膜的形成方法、及经图案化的抗蚀剂膜在审
| 申请号： | 202010770166.7 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN112346302A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 松本直纯 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;焦成美 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及正型感光性树脂组合物、经图案化的抗蚀剂膜的形成方法、及经图案化的抗蚀剂膜。本发明的课题在于提供能够形成截面形状良好的经图案化的抗蚀剂膜且敏感度高的正型感光性树脂组合物、使用该正型感光性树脂组合物的经图案化的抗蚀剂膜的形成方法、和由前述正型感光性树脂组合物形成的经图案化的抗蚀剂膜。解决手段是在正型感光性树脂组合物中包含：Novolac树脂(A)；含有醌二叠氮基的化合物(B)；作为分子量1000以下的具有酚式羟基的化合物的敏化剂(C)；和规定范围内的量的含有酚式羟基的树脂(D)，其为Novolac树脂(A)以外的重均分子量超过1000的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 抗蚀剂膜 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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