[发明专利]一种石英晶体谐振器真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202010754853.X | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111733397A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 屈明明;王波;温从众;袁林花 | 申请（专利权）人： | 马鞍山恒明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本发明包括支撑架和箱体，支撑架的左侧上方固定连接有箱体，箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆，轴杆的侧壁上均连接有支撑板，支撑板的下表面开设有第一安装槽，第一安装槽内连接有加热机构，支撑板的上表面开设有第二安装槽，第二安装槽内连接有夹紧机构，真空泵上固定连接有真空管，真空管的另一端固定连接在箱体的右侧壁上。本发明通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶体 谐振器 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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