[发明专利]MEMS可调谐短腔激光器在审
| 申请号： | 202010730216.9 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN111952832A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | A·E·凯布尔;V·贾亚拉曼;B·M·波特赛义德 | 申请（专利权）人： | 统雷有限公司;普雷维乌姆研究公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;H01S3/105;H01S3/139;H01S5/00;H01S5/028;H01S5/04;H01S5/042;H01S5/06;H01S5/0683;H01S5/10;H01S5/183;H01S5/34;H01S5/343;G01N21/39 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 赵学超 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MEMS可调谐源，包括针对SSOCT成像系统、光谱检测系统，以及其他类型的检测和感应系统的性能和可靠性进行了优化的短腔激光器。公开了一种MEMS可调谐短腔激光器，其具有大的自由光谱范围的光腔、快速调谐响应以及单个横模与纵模操作。公开了一种MEMS致动机构，其包括具有多支撑支柱的应力结构设计的氮化硅膜，以获得平坦且宽范围的频率响应。还讨论了对于可调谐源的低脉动操作的支持。 | ||
| 搜索关键词： | mems 调谐 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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