[发明专利]用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法有效
| 申请号： | 201710220775.3 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN107134399B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 钟新华;孙雪平;胡振东;彭立波;袁卫华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/317 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，包括射频电源、调谐控制器、调谐筒和调谐电机，调谐控制器包括调谐控制单元、调谐电机控制单元和谐振状态检测单元，调谐控制单元分别与调谐电机控制单元和谐振状态检测单元相连，调谐电机与调谐电机控制单元相连。本发明的调谐控制方法包括S01、谐振状态检测单元用于检测射频电源的输出信号并发送至调谐控制单元；S02、调谐控制单元用于根据射频电源的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元；S03、调谐电机控制单元根据控制信号控制调谐电机的谐振以使调谐筒处于谐振状态。本发明的用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法均具有操作简便、控制精准等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高能 离子 注入 射频 加速 调谐 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，其特征在于，包括射频电源（1）、调谐控制器（2）、调谐筒（3）和调谐电机（4），所述调谐控制器（2）包括调谐控制单元（21）、调谐电机控制单元（25）和谐振状态检测单元（22），所述调谐控制单元（21）分别与所述调谐电机控制单元（25）和谐振状态检测单元（22）相连，所述调谐电机（4）与所述调谐电机控制单元（25）相连；所述谐振状态检测单元（22）用于检测所述射频电源（1）的输出信号并发送至调谐控制单元（21）；所述调谐控制单元（21）用于根据所述射频电源（1）的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元（25），所述调谐电机控制单元（25）根据控制信号控制调谐电机（4）的谐振，调节负载电容，以使调谐筒（3）处于谐振状态；所述调谐控制器（2）还包括电压幅值检测单元（23），所述电压幅值检测单元（23）分别与所述调谐筒（3）和调谐控制单元（21）相连，所述电压幅值检测单元（23）用于检测调谐筒（3）负载信号的电压幅值并发送至调谐控制单元（21），所述调谐控制单元（21）用于将电压幅值与预设电压幅值相比较，根据比较结果控制所述射频电源（1）的输出电压幅值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710220775.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 用于等离子体处理中均匀性控制的锥形上电极-201910106940.1
- 陈志刚;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·帕特里克·霍兰德;普拉提克·雅各布·曼凯地;安东尼·德拉·列拉;哈利·金姆;沈亨柱 - 朗姆研究公司
- 2019-02-02 - 2019-09-24 - H01J37/04
- 本发明涉及用于等离子体处理中均匀性控制的锥形上电极。一种用于衬底处理系统中的上电极包括下表面。所述下表面包括第一部分和第二部分，并且是面向等离子体的。所述第一部分包括具有第一厚度的第一表面区域。所述第二部分包括具有变化的厚度的第二表面区域，使得所述第二部分从第二厚度过渡到所述第一厚度。
- 用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法-201710220775.3
- 钟新华;孙雪平;胡振东;彭立波;袁卫华 - 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 2017-04-06 - 2019-06-25 - H01J37/04
- 本发明公开了一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，包括射频电源、调谐控制器、调谐筒和调谐电机，调谐控制器包括调谐控制单元、调谐电机控制单元和谐振状态检测单元，调谐控制单元分别与调谐电机控制单元和谐振状态检测单元相连，调谐电机与调谐电机控制单元相连。本发明的调谐控制方法包括S01、谐振状态检测单元用于检测射频电源的输出信号并发送至调谐控制单元；S02、调谐控制单元用于根据射频电源的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元；S03、调谐电机控制单元根据控制信号控制调谐电机的谐振以使调谐筒处于谐振状态。本发明的用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法均具有操作简便、控制精准等优点。
- 一种用于等离子处理器的射频电源控制装置及其控制方法-201610607371.5
- 周旭升;祝飞翼;刘小波 - 中微半导体设备（上海）股份有限公司
- 2016-07-28 - 2019-06-07 - H01J37/04
- 本发明提供一种用于等离子处理器的射频电源控制装置，所述等离子处理器包括：一下电极，下电极上方设置有一静电夹盘，待处理晶圆设置在所述静电夹盘上，一个射频电源通过一个匹配电路输出射频功率到所述下电极，其中所述射频电源控制装置包括一个偏置电压检测电路耦合到所述下电极以获偏置电压测得值，一个工艺参数控制器，其特征在于，还包括一个控制信号转换器，所述控制信号转换器包括第一输入端连接到所述偏置电压检测电路，一个第二输入端连接到所述工艺参数控制器，一个输出端连接到所述射频电源，所述控制信号转换器将所述工艺参数控制器输出的偏置电压设定值转换为输出功率数值输出到所述射频电源。
- 弯曲的后扫描电极-201780064062.0
- 法兰克·辛克莱;丹尼尔·泰格尔;艾德沃·W·比尔;罗伯特·林德柏格 - 瓦里安半导体设备公司
- 2017-08-28 - 2019-06-07 - H01J37/04
- 一种设备用于提供离子束的离子束产生器。扫描系统可接收所述离子束并提供经扫描束。电极可接收所述经扫描束。所述电极的至少一部分垂直于所述经扫描束的传播方向。所述电极的垂直于所述传播方向所述扫描束的所述部分可具有弯曲形状。
- 一种微腔放电紫外辐射器件及其制备方法和基于其的微腔阵列-201811614394.4
- 王耀功;麻晓琴;张小宁;王文江;周璇;周琛捷 - 西安交通大学
- 2018-12-27 - 2019-05-17 - H01J37/04
- 本发明公开了一种微腔放电紫外辐射器件及其制备方法和基于其的微腔阵列，属于紫外光源器件制造技术领域。器件包括衬底、底电极、介质层、微腔腔体、障壁、荧光粉层、介质板和顶电极。通过微腔气体放电的方式产生微腔等离子体，激发态原子和准分子衰减辐射真空紫外(VUV)，利用VUV轰击不同的荧光粉层，可获得不同波段的目标谱线。制备：采用物理沉积法在衬底背面和上面分别制备底电极和介质层，通过刻蚀的方式在衬底上制备微腔腔体，采用物理沉积的方式在介质板上制备顶电极，最后通过封装的方式形成带有微腔结构的紫外辐射器件。本发明所述的微腔放电紫外辐射器件无污染、高辐射效率、小体积、稳定性好。
- 一种离子引出系统驱动装置-201710560156.9
- 方明江;蔡成振 - 无锡诚承电子科技有限公司
- 2017-07-05 - 2019-01-15 - H01J37/04
- 本发明公开了一种离子引出系统驱动装置，包括：X轴运动模块、Y轴运动模块、Z轴运动模块、R轴运动模块、真空密封模块、电极模块，所述电极模块由引出地电极、抑制电极、绝缘瓷柱等构成，该装置主要作用是驱动真空腔室中的电极模块相对于离子源弧室引出板做相应的运动，提高束流的传输效率与品质，形成理想束流发射状态，变于后面光路部件充分发挥作用。
- 一种保持超快脉冲同步的切换装置-201710032015.X
- 樊仲维;庾韬颖;张鸿博;麻永俊;连富强;白振岙;刘学松;康治军;王江 - 中国科学院光电研究院;中科和光（天津）应用激光技术研究所有限公司
- 2017-01-17 - 2018-12-21 - H01J37/04
- 本发明公开了一种保持超快脉冲同步切换的装置，涉及超快激光光学领域，包括激光发射器、延时器、激光反射镜、电子加速器、碰撞腔、电子偏转器和电子束流回收装置；通过延时器切换改变激光发射器产生的激光束的传播方向，且可通过调节延时器内的延时光路，使激光束与电子加速器产生的电子束流发生时间同步的垂直碰撞或水平迎头碰撞。
- 一种用于冷却储存环中带电粒子注入引出的静电偏转板-201710118305.6
- 杨雅清 - 中国科学院近代物理研究所
- 2017-03-01 - 2018-11-09 - H01J37/04
- 本发明涉及重离子加速器技术领域，尤其是涉及一种用于冷却储存环中带电粒子注入引出的静电偏转板。其特点是包括真空室，所述的真空室外部设置有真空传动机构、补偿电极连接部件和高压输入部件，所述的真空室内对应设置有阳极架和高压电极，阳极架通过过渡连接固定在真空传动机构上，阳极架上设置有切割板和测量杆，高压电极通过螺钉固定在第一电极支撑和第二电极支撑上，第三支撑螺栓通过螺钉固定在绝缘支撑件上，绝缘支撑件与真空传动机构的传动轴相连。其结构合理，加工简单，成品率高，方便拆换，备件成本低；有效提高传输效率，实现了高压电极与切割板位置在平面内垂直于束流方向的调节，确保了传动过程具有较高的移动重复精度和直线位移精度。
- 一种非接触式微电子探针探测显微成像集成系统-201710211428.4
- 张佩佩 - 上海北京大学微电子研究院
- 2017-03-31 - 2018-10-16 - H01J37/04
- 本发明涉及一种非接触式电子探针探测显微镜成像集成系统，所述显微镜成像集成系统包括电子源系统，刻蚀用离子源系统，高压电源系统，电子光学系统，离子束偏转系统，电子束偏转系统，静电透镜系统，磁透镜驱动系统，真空系统，样品台系统，探测器系统，数据采集系统和图像重建系统，所述电子源系统包含灯丝室、灯丝座、发叉式钨灯丝和三极式静电透镜，所述灯丝座设置有可调节装置。所述显微镜成像集成系统在芯片工作过程中对某个区域进行实时显微测量，从而对芯片的某个具体工作模块实现实时监控并分析其微系统功能，为微电子芯片设计人员提供了一种有效的设计纠错分析手段。
- 用于干法刻蚀的承载装置及干法刻蚀设备-201710107300.3
- 廖鹏宇;蒋冬华;赵吾阳;姜龙;宋亮;谭超;彭于航;谢贤虹 - 成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
- 2017-02-27 - 2018-09-14 - H01J37/04
- 本发明提供一种用于干法刻蚀的承载装置和干法刻蚀设备，包括相对设置的上部电极和下部电极，以及设置于所述下部电极上面向所述上部电极的一面的待刻蚀基板，所述下部电极的面积不小于待刻蚀基板的面积。本发明的有益效果是：增大了基板的有效使用面积，提升基板边缘刻蚀率的有效性。
- 元件、曝光装置、及制造方法-201610235948.4
- 山田章夫;菅谷慎二;黑川正树;泷泽昌弘;岩下龙马 - 英特尔公司
- 2016-04-15 - 2018-09-07 - H01J37/04
- 本发明实现一种多射束形成元件，其利用互补光刻法，能稳定地加工微细的线图案。本发明提供一种元件及应用这种元件的曝光装置，该元件是使射束成形并偏向的元件，具备：孔径层，具有使从元件的第1面侧入射的射束成形并通过的第1开孔；及偏向层，使通过孔径层的射束通过并偏向；且偏向层具有：第1电极部，具有与对应于第1开孔的偏向层内的射束通过空间相对的第1电极；及第2电极部，具有在偏向层内独立于相邻层并朝向射束通过空间延伸的延伸部、及在端部隔着射束通过空间而与第1电极对向的第2电极。
- 电子线装置-201580019322.3
- 野间口恒典;扬村寿英 - 株式会社日立高新技术
- 2015-04-22 - 2018-08-28 - H01J37/04
- 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。
- 会聚离子束装置-201810081984.9
- 川浪义实 - 日本株式会社日立高新技术科学
- 2018-01-29 - 2018-08-21 - H01J37/04
- 本发明提供会聚离子束装置，其能够高精度地进行发射尖锥的末端的调整而不会使FIB光学系统的会聚特性、对准特性降低。该会聚离子束装置具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源；会聚透镜；第一偏转器；第一光圈；物镜，其使通过所述第一偏转器后的所述离子束会聚；以及试样台，并且在至少具有会聚透镜、第一光圈、第一偏转器以及物镜的光学系统与试样台之间形成针对离子束在点状区域中发生反应的信号产生源，并以使从信号产生源输出的信号和由第一偏转器对离子束进行的扫描对应的方式生成发射尖锥的扫描电场离子显微镜像。
- 一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构-201820006854.4
- 伍志军 - 苏州赛森电子科技有限公司
- 2018-01-03 - 2018-07-27 - H01J37/04
- 本实用新型公开了一种便于更换保养的P5K‑MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机。本实用新型实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱进行移动，解除对拆卸环的固定，从而便于对保养本体进行拆卸更换。
- 加热型离子注入机安全互锁装置-201710276773.6
- 张俊;朱广金 - 上海新傲科技股份有限公司
- 2017-04-25 - 2018-07-24 - H01J37/04
- 本发明提供了一种加热型离子注入机安全互锁装置，其包括电流互感器、控制器和加热灯；所述控制器与加热灯连接，用于控制加热灯的开关状态；电流互感器的一次侧与靶盘马达供电回路耦合，用于获取靶盘马达供电回路上的电流，二次侧与控制器连接；电流互感器一次侧的电流信号低于一阈值电流时，所述控制器控制所述加热灯处于关闭状态。本发明提供的加热型离子注入机安全互锁装置，基于靶盘马达的供电回路中电流的大小，来控制加热灯是否通电，有效防止了因靶盘通讯故障导致的硬件损坏问题，对离子注入机本身和其处理的硅片都起到了很好的保护作用。
- 一种真空等离子机的快速插拔电极-201721804759.0
- 张斌 - 昆山国华电子科技有限公司
- 2017-12-21 - 2018-07-17 - H01J37/04
- 本实用新型提出了一种真空等离子机的快速插拔电极，包括电极板本体，所述电极板本体两端设有绝缘导块，所述绝缘导块之间电极板侧边设有至少一个电机快插公头，所述快插公头插于设备的母头上；所述快插公头包括C形卡块，所述C形卡块上连接有电极头，所述电极头周围设有环形磁铁；所述电极板本体表面设有两条定位槽，所述定位槽内设有磁铁条，所述C形卡块上设有定位钉，本电极板能够在真空等离子腔体内增加数量，以适应不同高度的产品，并且能够快速插拔，并且可根据不同设备的母头插口的位置调整公头位置，适用性高，解决生产维护过程中的不方便问题，增加设备的弹性，并且电极在腔体内滑动时运行顺畅，不会卡死。
- 一种新型石英等离子管-201721314434.4
- 林若沙 - 佛山市君睿光电科技有限公司
- 2017-10-12 - 2018-06-12 - H01J37/04
- 本实用新型提供一种新型石英等离子管，包括真空石英管体、电极和管帽，所述管帽套设在真空石英管体两端，所述电极包括设置在真空石英管体内的棒状金属电极和紧附在真空石英管体外壁的网状金属电极，所述棒状金属电极与外部电源连接，所述网状金属电极前后两端均设置有可将管帽和网状金属电极前后两端紧密装配的压网件，所述压网件电性连接有导电卡片，所述导电卡片与设置在管帽上的螺丝安装孔电性连接。本实用新型结构耐用可靠，并巧妙地利用了固定螺丝安装接地，安装方便，具有较强的市场竞争力。
- 一种高能带电粒子束从真空到大气的引出窗口-201720819711.0
- 韦寿祺;刘胜;秦玉江;王斌;李震;岳庆功 - 桂林电子科技大学
- 2017-07-07 - 2018-02-16 - H01J37/04
- 本实用新型公开一种高能带电粒子束从真空到大气的引出窗口，其窗口的主体由等离子体纵向引射式气动窗口组成，利用了超音速等离子体的动能压力和等离子体高温双重隔离作用，引出窗口能获得极大的真空梯度，真空隔离效果极佳，此外，通过改变电极与主电源的正负极接线，可实现等离子体对通过其的带不同电性粒子束起向心汇聚作用。本实用新型能够解决高能带电粒子束加工制造装备在大气环境中进行加工制造存在的两大关键技术难题。
- 一种离子注入机用光路对中工装-201610582816.9
- 不公告发明人 - 北京中科信电子装备有限公司
- 2016-07-22 - 2018-01-30 - H01J37/04
- 本发明提供一种离子注入机用光路对中工装，该工装用于完成离子注入机关键光路部件位置校准，以保证离子束沿理论设计路线传输。该对中工装包括激光发射装置、可调整激光器固定架和光路部件工装，该对中工装可以实现对中束流离子注入机的离子源区与平行透镜区进行结构对中校准，保证注入机有最好品质与效率的离子束流传输。
- 一种高磁场下微型潘宁离子源的引出结构-201610617120.5
- 贾先禄;宋国芳 - 中国原子能科学研究院
- 2016-07-29 - 2018-01-19 - H01J37/04
- 本发明属于超导回旋加速器技术领域，具体涉及一种高磁场下微型潘宁离子源的引出结构。包括设置在潘宁离子源的阳极筒侧面上的阳极筒引出缝和靠近阳极筒引出缝设置的引出电极，引出电极上的引出电极缝口对应阳极筒引出缝，当引出电极上加载高频电压后能够通过电极缝口将阳极筒内的等离子体从阳极筒引出缝引出，其中，阳极筒引出缝设置在阳极筒的引出壁上，引出壁的厚度小于阳极筒的其他位置厚度；阳极筒引出缝长6mm‑10mm，设有特定角度的张角，宽0.5mm；电极缝口长6mm‑10mm，宽0.5mm；阳极筒引出缝、电极缝口的长度保持一致。该引出结构尽量减小了阳极筒的引出口的壁厚，增强了内腔壁电压，提高了引出流强，改善了引出束流品质。
- 上电极装置-201710236523.X
- 周峙丞 - 周业投资股份有限公司
- 2017-04-12 - 2018-01-05 - H01J37/04
- 一种上电极装置，包含一个电极板，以及穿设在该电极板中的数个陶瓷管及数个陶瓷块。该电极板包括一个电极本体。该电极本体界定出彼此间隔的数个第一贯孔与数个第二贯孔。所述陶瓷管呈管状，并设置在所述第一贯孔中。所述陶瓷块设置在所述第二贯孔中，并封闭所述第二贯孔。所述陶瓷块封闭了所述第二贯孔，使得该电极本体能供蚀刻气体流动的孔洞数目变少，在相同的气体流量下，因流经所述第一贯孔的蚀刻气体的流速加快，冲击待蚀刻物的力道加强，而使本发明具有较佳的蚀刻效果。
- 一种用于冷却储存环中带电粒子注入引出的静电偏转板-201720193529.9
- 杨雅清 - 中国科学院近代物理研究所
- 2017-03-01 - 2017-11-10 - H01J37/04
- 本实用新型涉及重离子加速器技术领域，尤其是涉及一种用于冷却储存环中带电粒子注入引出的静电偏转板。其特点是包括真空室，所述的真空室外部设置有真空传动机构、补偿电极连接部件和高压输入部件，所述的真空室内对应设置有阳极架和高压电极，阳极架通过过渡连接固定在真空传动机构上，阳极架上设置有切割板和测量杆，高压电极通过螺钉固定在第一电极支撑和第二电极支撑上，第三支撑螺栓通过螺钉固定在绝缘支撑件上，绝缘支撑件与真空传动机构的传动轴相连。其结构合理，加工简单，成品率高，方便拆换，备件成本低；有效提高传输效率，实现了高压电极与切割板位置在平面内垂直于束流方向的调节，确保了传动过程具有较高的移动重复精度和直线位移精度。
- 用于离子束蚀刻的离子喷射器电极组件-201510548855.2
- 伊凡·L·贝瑞三世;索斯藤·利尔 - 朗姆研究公司
- 2015-08-31 - 2017-11-07 - H01J37/04
- 本文涉及用于离子束研磨的离子喷射器和透镜系统，本文的实施例涉及用于对半导体衬底执行离子蚀刻的方法和装置、以及用于形成这样的装置的方法。在一些实施例中，可以制造电极部件，电极部件包含具有不同目的的多个电极，每个电极以机械稳定的方式固定到下个。在电极固定在一起之后可以在每个电极中形成开口，因而保证开口在邻近电极之间良好对准。在一些情况下，电极由简并掺杂硅制成，并且电极部件通过静电键合固定在一起。还可以使用其他电极材料和固定的方法。在一些情况下，电极部件可以包含中空阴极发射极电极，其可以具有截锥形或者其他非圆筒开口形状。在一些情况下，还可以存在腔室衬垫和/或反射器。
- 在透射电子显微镜中使用相位片的方法-201410170093.2
- B.布伊吉塞;R.S.达内韦 - FEI公司;马克斯·普朗克索赔科学公司
- 2014-04-25 - 2017-09-12 - H01J37/04
- 本发明涉及在透射电子显微镜（100）中使用相位片（118）的方法，所述相位片包括薄膜，所述方法包括在所述透射电子显微镜中引入所述相位片；通过用聚焦的电子束照射所述薄膜来准备所述相位片；在所述透射电子显微镜中引入样品（108）；以及通过使用所准备的相位片来形成所述样品的图像，其特征在于准备所述相位片涉及通过用聚焦的电子束照射所述相位片来局部地构建由所述薄膜的所述电子结构中的改变引起的真空势，所述真空势导致具有比在所述未照射的薄膜处更小的值的绝对相移。优选地加热所述相位片以避免污染。用该相位片实现的所述相移可以通过使所述照射的斑点的所述直径变化来调谐。
- 一种环型离子推力器放电室-201510719258.1
- 王彦龙;陈娟娟;张天平;杨福全;唐福俊;赵以德;孙明明;龙建飞;贾艳辉;吴先明 - 兰州空间技术物理研究所
- 2015-10-29 - 2017-05-03 - H01J37/04
- 本发明公开了一种环型离子推力器放电室。使用本发明能够实现更大的推力和更高的比冲。本发明包括环型阳极组、两个阴极、环型磁极组和气体分配环。其中，环型磁极组的内环磁极组位于环型阳极组的内环阳极的内侧，外环磁极组位于外环阳极的外侧，底部磁极组位于底部阳极底部的下方；气体分配环包括内环气体分配环和外环气体分配环；两个阴极对称分布在内环气体分配环和外环气体分配环之间。本发明有效增加了有效吸收电子的阳极面积，使推力器能够在更高的放电电流下工作；增加了放电室的电离区域，从而显著提高了放电室等离子体均匀性、工质利用率和降低了放电损耗，使引出束流密度可大大提高，有效提高了推力器的性能和寿命。
- 一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置-201620725357.0
- 马成国;亓淑艳 - 马成国
- 2016-07-12 - 2017-03-15 - H01J37/04
- 本实用新型涉及一种保护装置，尤其是一种扫描电镜背散射电子接收器使用的保护装置。它的组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用来保护背散射电子接收器，电子束发射孔在水平面上的垂直投影应全部包含在V形保护结构的V形区域里，所述的V形保护结构不能遮挡电子束发射孔。本实用新型设计合理，结构简单，便于操作安装和更换，保护网结构可以有效避免扫描电镜的背散射电子接收器被不规则被测体碰坏。
- 带电粒子多子束光刻系统和冷却配置制造方法-201380037560.8
- J.P.斯普伦杰斯;C.奥滕;R.贾杰;S.W.H.K.斯廷布林克;J.J.科宁;W.H.厄尔巴努斯;A.H.V.范维恩 - 迈普尔平版印刷IP有限公司
- 2013-05-14 - 2017-02-22 - H01J37/04
- 本发明提供了一种带电粒子多子束光刻系统，包括用于生成子束的子束发生器、用于形成经调节子束的子束调制器，以及用于将经调制子束投影至目标表面上的子束投影器。发生器、调制器和/或投影器包括一个或多个设置有孔径的板，其孔径使子束通过板。孔径被分组，以形成波束区域，其区别于无子束孔径的非波束区域。具有孔径的板中至少一个设置有冷却配置(93)，冷却配置被部署在其非波束区域中表面上。冷却配置包括板形主体，其具有用于接收冷却液体的入口(31)、用于在其中运送冷却液体的多个冷却通路(94)，以及用于移除冷却液体的出口(35)。在冷却通路之间，板形主体具有与波束区域对准的缝隙(34)。
- 模块化电极装置-201410780988.8
- 杨国辉;蔡陈德;张瀛方;杜陈忠;翁志强 - 财团法人工业技术研究院
- 2014-12-16 - 2016-07-20 - H01J37/04
- 一种模块化电极装置，包含多个主体、一第一电极、至少一第二电极、多个第三电极、至少一第一衔接件、二第二衔接件，主体具有第一侧边、第二侧边及第三侧边，于主体设有一气室及一气体入口；第一电极设置于其中一主体的第二侧边；第二电极设置于另外至少一主体的第二侧边，第二电极串联设置于第一电极的一端；于二第三电极间设有一主体，第三电极与第一电极及第二电极互相连接；第一衔接件设置于第一电极与第二电极间，用以衔接第一电极与第二电极相邻的一端；二个第二衔接件分别设置于串联的第一电极与至少一第二电极的相对二端。
- 一种双层阳极的电子束发生器-201410640073.7
- 韩伟 - 北京小点科技有限公司
- 2014-11-13 - 2016-05-18 - H01J37/04
- 本发明公开了一种双层阳极的电子束发生器，包括：阴极、阳极、聚束极、外护罩、绝缘层，所述的阴极位于电子束发生器顶部，所述的阳极位于电子束发生器底部，阴极与阳极分别与外部电源连接，所述的聚束极位于电子束发生器中部，调整电子束的偏离方向，所述的阳极和聚束极构成双层阳极，所述的外护罩用于提供真空的环境，所述的绝缘层将阴极和阳极、聚束极与外护罩进行电气隔离。
- 一种反应腔室及半导体加工设备-201410272545.8
- 郭峰 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
- 2014-06-18 - 2016-02-17 - H01J37/04
- 本发明提供的反应腔室及半导体加工设备，包括上电极机构、反应腔机构和定位件，上电极机构叠置在反应腔机构上，定位件设置在上电极机构和反应腔机构相接触的表面上，用以在合盖时实现对上电极机构定位，定位件设置在上电极机构和反应腔机构接触表面的外边沿，并且，定位件包括在上电极机构和反应腔机构上设置的相互配合使用的凹槽和凸部，借助凸部位于与之对应的凹槽内，用以在合盖时实现对上电极机构定位。本发明提供的反应腔室，可以降低通过目视调整上电极机构的难度，从而不仅可以避免重复调整实现快速合盖；而且还可以提高合盖的安全性、可靠性和准确性。
- 专利分类
