[发明专利]一种抗电离辐射加固的MOS栅控晶闸管有效

专利信息
申请号: 202010612345.8 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111739930B 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 李泽宏;李磊;吴玉舟;任敏;张波 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/10;H01L29/749;H01L21/332;H01L29/745
代理公司: 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 代理人: 敖欢
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供了一种具备抗电离辐射能力的MOS栅控晶闸管,属于功率器件技术领域;所述MOS栅控晶闸管自上而下包括金属阴极、第一阱区、第二阱区、衬底、第三阱区、阳极掺杂层和金属阳极;第三阱区和金属阳极短接,实现零栅压条件下的正向耐压;衬底和第三阱区为同型掺杂,第三阱区的掺杂浓度高于衬底;第二阱区和第三阱区为缓变掺杂区;衬底为低掺杂区。基于本发明器件结构能够提高MOS栅控晶闸管抗位移辐照的能力。
搜索关键词: 一种 电离辐射 加固 mos 晶闸管
【主权项】:
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