[发明专利]原子层沉积设备的前驱体传输装置和前驱体传输方法

摘要

本发明实施例提供一种原子层沉积设备的前驱体传输装置和前驱体传输方法，该装置包括第一进气组件、第二进气组件和设置有第一流量控制模块的气体补偿管路，气体补偿管路用于对反应腔室的总气体流量进行补偿；第一进气组件包括第一前驱体源、缓冲装置、第一前驱体管路和设置在第一前驱体管路上的第二流量控制模块，缓冲装置的两端分别与第一前驱体源的输出端和第一前驱体管路的输入端连接，用于缓存第一前驱体；第一前驱体管路的出气端与反应腔室连接，用于输送第一前驱体；第二流量控制模块，用于控制流经第二流量控制模块的气体流量等于流经第一流量控制模块的气体流量。本发明的实施例，可以实现第一前驱体源与ALD工艺所使用的流量相匹配。