[发明专利]一种预防芯片焊盘裂纹的铜丝球焊方法在审

专利信息
申请号: 202010470010.7 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN111613543A 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 冯号;周少明 申请(专利权)人: 西安微电子技术研究所
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 朱海临
地址: 710065 陕西*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种预防芯片焊盘裂纹的铜丝球焊方法,所述方法包括如下步骤,步骤1,在框架载体或夹具的芯片区域外的剩余表面固定陶瓷片,得到铜焊球的焊点成型目标平面;步骤2,先将铜焊球移动到铜焊球的焊点成型目标平面的陶瓷面上,再将铜焊球在所述的陶瓷面上进行焊点成型过程,焊点成型完成后,底部被压平的铜焊球离开陶瓷面的表面;步骤3,将底部被压平的铜焊球转移到焊盘上方进行界面键合过程,完成焊盘上的铜丝球焊。本发明将焊点成型段从焊盘铝层表面移植到陶瓷表面,之后将铜焊球的焊点成型段与后续键合段从空间上实现分离,能够提升铜焊球底面平整度,进而有利于降低焊点键合过程打裂焊盘的风险。
搜索关键词: 一种 预防 芯片 裂纹 铜丝 球焊 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安微电子技术研究所,未经西安微电子技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010470010.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top