[发明专利]一种基于悬臂梁振动的加速度传感器在审
| 申请号： | 202010433035.X | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111562406A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中山科立特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528458 广东省中山市火炬开发区中心城区港义*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于悬臂梁振动的加速度传感器，在悬臂梁一端设置质量块。在探测加速度时，质量块压缩悬臂梁，改变悬臂梁中的应力，从而改变悬臂梁的共振频率，通过检测悬臂梁的共振频率实现加速度探测。由于悬臂梁的共振频率对施加在其中的应力非常敏感，所以本发明的加速度传感灵敏度高。另外，本发明可以采用不同材料的悬臂梁及不同质量的质量块以实现不同量程的高灵敏度加速度传感，在加速度传感领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬臂梁 振动 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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- 本发明涉及一种加速度计，加速度计包括基底和检测装置，基底具有相邻设置的支撑锚点和电极固定锚点，检测装置包括两个检测板以及对应设置的检测电极，检测电极通过连接臂和电极固定锚点连接，检测板弹性连接于支撑锚点，且两个检测板相对于支撑锚点的轴线非对称设置，两者相互平行且方向相反，检测电极和检测板间隔设置，用于形成检测电容，其中，加速度计包括两个检测装置，且两个检测装置位于同一平面内，两个检测装置中的检测板分别相互垂直设置，同一检测装置的两个检测板相邻设置，不同检测装置之间的面内检测电极之间的走线可以相互分离，不相互交叉，减小了复杂走线带来的寄生电容的影响，从而提高了加速度计的检测精确度。
- 一种单芯片六轴传感器及其加速度计-202310092141.X
- 刘尧;凌方舟;蒋乐跃;苏云鹏 - 美新半导体（无锡）有限公司
- 2023-02-09 - 2023-06-23 - G01P15/08
- 本发明提供一种单芯片六轴传感器及其加速度计，所述加速度计包括Z轴加速度计。所述Z轴加速度计包括：Z轴质量块，其内定义有第一空间和第二空间；锚点结构，其位于第一空间内；转轴，其位于第一空间内且平行于X/Y轴放置，转轴连接锚点结构和Z轴质量块，Z轴质量块位于转轴一侧的质量与另一侧的质量不同，以使Z轴质量块以转轴为轴发生跷跷板式运动；空气阻尼单元，其位于第二空间内，其包括第一锚点，连接在第一锚点上的若干固定阻尼梳齿，连接在Z轴质量块上的若干可动阻尼梳齿，固定阻尼梳齿和可动阻尼梳齿呈叉指排布。与现有技术相比，本发明通过设计空气阻尼结构，不同刚度的限位器来增强加速度计在低压腔体中的可靠性，降低生产成本和提高集成度。
- 一种全向微流体惯性阈值加速度计-202110125956.4
- 陈文国;王瑞;王慧颖 - 曲靖师范学院
- 2021-01-29 - 2023-06-23 - G01P15/08
- 本发明公开了一种全向微流体惯性阈值加速度计，包括衬底、液滴固定凸块、通道凸块、封装盖、导电液滴和信号电极；液滴固定凸块和通道凸块呈圆周阵列分布在衬底上，其间隙分别形成微流体通道、空气循环通道和储液腔；封装盖与衬底对应设置，并通过螺栓固定；导电液滴设置在储液腔内；信号电极与微流体通道对应；微流体通道外端通过密封胶密封；通过使用导电液滴和微流体通道结构，形成“固‑液”接触式机构，惯性加速度超过设计阈值时，导电液滴向微流体通道内流动并与信号电极接触，信号电极瞬间导通，当惯性消失，导电液滴重新回复到初始状态，信号电极断开，可实现水平面对高精度的惯性测量、高精度的角度测量，并且使用寿命得到大幅提升。
- 物理量传感器及惯性测量装置-202211499133.9
- 永田和幸 - 精工爱普生株式会社
- 2022-11-28 - 2023-06-02 - G01P15/08
- 物理量传感器及惯性测量装置。能够避免由过度的冲击引起的不良情况。物理量传感器1检测第1方向(DR1)以及第2方向(DR2)中的至少一个方向的物理量。包括：固定电极部(20)，其设置于基板(2)；可动体(60)，其具有可动电极部(20)，可动电极部(20)设置成可动电极(26)与固定电极部(10)的固定电极(16)相对；固定部(40)，其固定于基板(2)；支承梁(42)，其一端与固定部(40)连接，另一端与可动体(60)连接；以及限制部(50)，其限制可动体(60)的移位。限制部(50)包括：第1部分(51)，其一端与可动体(60)连接，沿第1方向(DR1)延伸；和第2部分(52)，其一端与第1部分(51)的另一端连接，沿第2方向(DR2)延伸。
- 加速度传感器、电子控制系统及车辆悬架系统-202310200471.6
- 王德魁;张富;谢春旭 - 大陆汽车安全系统（长春）有限公司
- 2023-03-03 - 2023-05-09 - G01P15/08
- 本发明涉及一种加速度传感器，所述加速度传感器安装在车轮附近以用于检测车身振动速度，所述加速度传感器包括：感测模块，所述感测模块用于测量与车辆振动有关的原始模拟信号；模数转换器，所述模数转换器用于将由所述感测模块采集的原始模拟信号转换为数字信号；处理器，所述处理器用于根据由所述模数转换器提供的数字信号计算车身振动速度；无线传输模块，所述无线传输模块用于将处理器计算的车身振动速度以无线方式传输至车辆的电子控制单元；以及电源模块，所述电源模块用于向所述模数转化器、所述处理器以及所述无线传输模块供电。本发明还涉及一种包括该加速度传感器的电子控制系统和车辆悬架系统。
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