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[发明专利]一种加速度传感器-CN202111242245.1有效
发明人： 颜红彦;吕忠全;勾建伟 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提出一种加速度传感器，包括：基板；质量块，悬空设置在所述基板的上方区域；四个锚区围绕所述质量块设置在所述基板上；四个连接杆分别对应连接四个锚区与所述质量块；四个电容分别对应设置在四个连接杆的端部区域；四个弹簧梁分别连接于四个连接杆与四个锚区之间；四个电感分别对应临近四个锚区设置，且分别与四个电容组成LC谐振回路。通过设计四个电容的上下极板的重叠面积可以控制该加速度传感器的灵敏度以及量程，这使得器件设计十分灵活。同时，该加速度传感器还具有结构简单、体积小、工艺兼容等优势。
一种加速度传感器

[发明专利]一种可重构加速度传感器-CN202111173680.3有效
发明人： 颜红彦;吕忠全;勾建伟 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种可重构的加速度传感器，包括：衬底；折纸结构梁，设置在衬底上，所述折纸结构梁包括第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，所述折纸结构梁通过第一V形梁、第二V形梁固定连接于所述衬底；悬浮电极设置于所述衬底与所述折纸结构梁之间，所述悬浮电极的两端分别与第一弹簧结构和第二弹簧结构连接；第一弹簧结构和第二弹簧结构分别通过第三V形梁、第四V形梁固定连接于所述衬底；其中，所述折纸结构梁的延伸方向与所述第一弹簧结构、第二弹簧结构的延伸方向相互交叉。本发明通过控制V形梁使加速度传感器的灵敏度和测量范围具有可重构性，提高了加速度传感器的灵敏度、检测范围。
一种可重构加速度传感器

[发明专利]一种湿度传感器-CN202211423835.9在审
发明人： 颜红彦;吕忠全 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明提供一种湿度传感器，包括基板、功率分配器和功率合成器、第一微带线、第一叉指电容极板、第二微带线、第二叉指电容极板和湿敏材料层；所述功率分配器和所述功率合成器均设置于所述基板，且所述功率分配器和所述功率合成器相对；所述功率分配器靠近所述功率合成器的一端连接第一微带线，所述第一微带线与所述基板之间形成预设距离；所述第一叉指电容极板设置于所述第一微带线；所述功率合成器靠近所述功率分配器的一端连接第二微带线，所述第二微带线与所述基板之间形成预设距离。本发明的一个技术效果在于，设计合理，对湿度的测量精度和检测范围的调节非常方便。
一种湿度传感器

[发明专利]一种气压传感器-CN202211425927.0在审
发明人： 颜红彦;吕忠全 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明提供一种气压传感器，包括基板、薄膜、下电极、上电极、第一V形梁、第二V形梁、驱动单元、第三V形梁和支撑杆：所述基板的第一表面设置有凹槽，所述凹槽的开口端覆盖所述薄膜，所述基板和所述薄膜共同形成真空空腔；所述下电极固定于所述薄膜的远离所述真空空腔的一侧，所述下电极具有相对的第一侧边和第二侧边；所述上电极包括第一上电极和第二上电极，所述第一上电极和所述第二上电极对称设置于所述下电极的上方，并与所述下电极形成预设距离。本发明的一个技术效果在于，设计合理，其具有较高的检测精度，且检测范围可调节，使用非常方便。
一种气压传感器

[发明专利]一种基于机械超材料结构的无源无线温度传感器-CN202010985002.6有效
发明人： 颜红彦;吕忠全;马培 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01K7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于机械超材料结构的无源无线温度传感器，该温度传感器包括：基板、以及设置在基板上的至少一个温度感应单元与应变感应单元，应变感应单元包括机械超材料结构、LC谐振回路以及多个绝缘支撑件；其中，机械超材料结构与至少一个温度感应单元连接，以接收温度感应单元因温度变化所产生的单一方向的应变，并将单一方向的应变转换为多方向的应变，LC谐振回路通过多个绝缘支撑件与机械超材料结构连接，以在多方向的应变下产生谐振频率的变化，以通过互感耦合的方式非接触测量谐振频率，实现对温度的测量。本发明采用了无源无线的测量方式，使得该温度传感器功耗低、易于测量，同时还具有结构简单、测量误差小、工艺兼容等优势。
一种基于机械材料结构无源无线温度传感器

[发明专利]一种V形梁结构LC谐振的温度传感器及其制备方法-CN201810813507.7有效
发明人： 颜红彦;金婷 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01K7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种V形梁结构LC谐振的温度传感器，该温度传感器包括衬底、形成在衬底上的V形梁热驱动结构和LC谐振电路，其中，V形梁热驱动结构用于驱动LC谐振电路，V形梁热驱动结构包括V形梁、第一推杆、介质层、第二推杆，所述第一推杆设置在所述V形梁的顶端连接处，所述介质层上下两侧分别连接所述第一推杆和所述第二推杆，所述LC谐振电路包括位于所述第二推杆左右两侧的第一电感和第二电感，所述第一电感的左侧连接第一微波信号端口；所述第二电感的右侧连接电容、所述电容的右侧连接第二微波信号端口。与现有技术相比，本发明的温度传感器结构简单，实现了传感器的小型化；选用V形梁热驱动结构来反馈温度的变化，测量灵敏度可以达到较高水平，测量误差小。
一种结构 lc 谐振温度传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于MEMS电感的二维曲率传感器-CN201810812300.8有效
发明人： 颜红彦;金婷 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种二维曲率传感器，包括柔性衬底、三个终端式微波功率传感器结构，三个终端式微波功率传感器结构分别通过共面波导中心信号线、与三个电感相连接，还包括与微波信号线相连的第四电感，且第一电感、第二电感、第三电感、第四电感的另一端共同连接质量块；与共面波导中心信号线对应设置有热电堆，用于感应温度变化并输出热电势。随着二维曲率的变化，该曲率传感器中的电感大小发生变化，导致传输到三个终端式微波功率传感器的微波功率大小发生变化，进而使得热电堆输出的热电势发生改变，从而实现二维曲率的测量。
一种基于 mems 电感二维曲率传感器