[发明专利]MEMS气体传感器气敏单元及制备方法在审
| 申请号： | 202010427355.4 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN112034012A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 刘宇航;汪震海;许诺 | 申请（专利权）人： | 北京机械设备研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京云科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11483 | 代理人： | 张飙 |
| 地址： | 100854 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请揭示了一种MEMS气体传感器气敏单元及制备方法，该制备方法包括：在衬底上从下倒上依序制备第一金属电极层以及绝缘层；在绝缘层上制备具有第一孔洞的第二金属电极层；在绝缘层上第一孔洞投影于绝缘层的区域开设第二孔洞，通过第一孔洞和第二孔洞露出第一金属电极层；在第二金属电极层上覆盖气敏材料形成气敏结构层，使气敏材料在第一孔洞和第二孔洞处联通第一金属电极层和第二金属电极层；对气敏结构层进行图形化，保留第一孔洞和第二孔洞内留存的气敏材料，去除气敏结构层其余的气敏材料，完成气敏单元的制备。本申请可大幅减小气敏结构有效部分的总体积，进而可提升传感器的灵敏度和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 气体 传感器 单元 制备 方法 | ||
【主权项】：
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