[发明专利]一种晶圆装载杯有效
| 申请号： | 202010323556.X | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111469045B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;孟松林;赵慧佳 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：同轴设置于所述装载杯中心的托架，该托架具有圆圈状的环形边缘用于承接卸落的晶圆；同轴设置于所述托架圆周外围的支撑卡圈，用于支撑和/或定位晶圆承载头，所述支撑卡圈的顶面设置成高于所述托架的顶面以及设置于所述支撑卡圈的至少一个设置成向所述装载杯的中心轴线方向喷射流体的喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装载 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010323556.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于大口径法兰盘安装和拆卸的组合工装
- 下一篇：一种晶圆装载杯
