[发明专利]发光元件的加工方法及利用其的系统与装置在审
申请号: | 202010177939.0 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111697111A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 谢明勋;李昌霖 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/673 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 刘茵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种发光元件加工方法,包含:分配晶圆上的多个发光元件群组,到多个类别,各发光元件群组的发光元件之间,包括晶圆水平节距与晶圆垂直节距;将类别相同的发光元件,从各晶圆转移到基板上;根据第一预定模式,从至少一类别的各基板上,转移发光元件到第一阶段载具,第一阶段载具上发光元件具有第一水平节距与第一垂直节距;以及根据第二预定模式,从第一阶段载具,转移发光元件到第二阶段载具,第二预定模式的发光元件具有第二水平节距与第二垂直节距。第一预定模式安排基板沿第一方向排列的两个相邻的发光元件,放置在第一阶段载具沿第一方向上非相邻位置。 | ||
搜索关键词: | 发光 元件 加工 方法 利用 系统 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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