[发明专利]一种自动进出料等离子体处理装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202010175540.9 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111354617B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 王红卫;刘鑫培;沈文凯 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 苏州科洲知识产权代理事务所(普通合伙) 32435 | 代理人： | 周亮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动进出料等离子体处理装置及使用方法，该处理装置包括机箱、真空腔、传输组件、运动组件、吸盘组件；所述机箱内设置有台板，所述真空腔、传输组件、动力组件均设置在台板上；所述传输组件包括第一传输组件和第二传输组件，所述第一传输组件和第二传输组件分别设置在真空腔的两端；所述机箱的两侧设置有分别与第一传输组件、第二传输组件相对应的进料口和出料口；该使用方法操作简单，使用方便，适用性强；本发明解决了现有等离子体处理装置人工成本高，处理效率低，不能适应产品流水线式加工生产的缺陷，本发明实现流水线式等离子体处理，提高等离子体处理效率，适用性高，能够与产品加工流水线配合使用，降低产品生产加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 进出 等离子体 处理 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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