[发明专利]一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体在审
| 申请号： | 202010150750.2 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111289777A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 孟文杰;赵科森;侯玉斌;陆轻铀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/14 | 分类号： | G01Q60/14;G01Q60/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种管型逼近和成像单元机械串联式扫描隧道显微镜镜体，包括基座、滑杆、套管及弹簧片，其特征在于还包括第一压电管、第二压电管及探针支架，所述第一压电管一端固定在基座，另一端与第二压电管沿轴向串联固定，套管同心共轴固定于第二压电管形变自由端，弹簧片施加沿套管径向压力夹持滑杆于导轨内壁，滑杆滑动方向沿套管轴向，探针支架与第二压电管同心共轴设置，其一端固定在第一压电管与第二压电管串联连接位置。该发明镜体径向和轴向结构均高紧凑，第二压电管兼用于逼近可实现针样逼近步骤的低启动电压，同时保证扫描单元高刚性，主体采用绝缘材料制成，结构横断面无导电回路，特别适用于极低温、强/快变磁场、强震动的极端物理条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 逼近 成像 单元 机械 串联式 扫描 隧道 显微镜 | ||
【主权项】：
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