[发明专利]一种厚度测量装置、方法及电子设备在审

专利信息
申请号: 202010144270.5 申请日: 2020-03-04
公开(公告)号: CN113358038A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 洪志坤;张胜森;欧昌东;郑增强 申请(专利权)人: 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 代理人: 李佑宏
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种厚度测量装置、方法及电子设备,该装置包括处理器和至少两个图像采集器;图像采集器架设在待测样品的同一侧且与待测样品表面的拍摄角度不等,该待测样品远离图像采集器的一侧表面设置有参考标记;图像采集器在处理器的触发下分别拍摄包含参考标记的显示图片;处理器用于计算参考标记在两个图像采集器的显示图片中的成像位置差,并根据所述成像位置差以及两个图像采集器各自对应的拍摄角度计算待测样品在所述参考标记处的厚度;本发明利用视差原理,通过检测同一参考标记在两个拍摄角度不同的相机所采集的显示图片中的成像位置差来计算待测样品的厚度,具有检测范围广,结构简单,易于现场调试安装的优点。
搜索关键词: 一种 厚度 测量 装置 方法 电子设备
【主权项】:
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