[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010143670.4 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111313235B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 梁栋;张成;翁玮呈;丁维遵;刘嵩 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/042 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种垂直腔面发射激光器，包括，外延结构，包括第一反射层，有源层及第二反射层；至少一个第一沟槽，形成在所述外延结构上，并且贯穿所述外延结构；多个第二沟槽，形成在所述多个第一沟槽之间，贯穿部分所述外延结构，暴露出所述第一反射层，将所述外延结构分成多个发光单元；至少两个绝缘层，形成在所述多个第一沟槽及所述多个第二沟槽内，且部分所述至少两个绝缘层形成在所述多个发光单元之间；第一电极，形成在所述第一反射层的背面上；至少两个第二电极，形成在所述多个第一沟槽及所述多个第二沟槽内，每一所述发光单元内的多个发光子单元通过所述第二电极连接。本发明提出的垂直腔面发射激光器应用频率快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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