[发明专利]一种多弧型带材真空连续镀膜系统有效
| 申请号： | 202010106165.2 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111197156B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;田玉波;王百湘;程云立;田源 | 申请（专利权）人： | 王殿儒;唐山中土科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京安度修典专利代理事务所(特殊普通合伙) 11424 | 代理人： | 杨方成 |
| 地址： | 100086 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多弧型带材真空连续镀膜系统，该镀膜系统用于卷绕带材的镀膜，所述镀膜系统包括真空室，所述真空室中设置有入口真空锁、电子枪、第一导向轮、滚轮、第二导向轮、移动杆、密封板、多弧离子源、第一真空镀膜仓、第二真空镀膜仓与出口真空锁，所述带材依次穿过所述入口真空锁、第一导向轮、通气口、第一真空镀膜仓或第二真空镀膜仓、滚轮、通气口、第二导向轮与出口真空锁，所述第一真空镀膜仓与第二真空镀膜仓交替用于带材真空镀膜，从而实现连续镀膜。本发明的多弧型带材真空连续镀膜系统通过两个真空镀膜仓交替工作方式以实现真正地真空连续镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多弧型带材 真空 连续 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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