[发明专利]连续镀膜设备和连续镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202011218185.5 申请日: 2020-11-04
公开(公告)号: CN112281135A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 宗坚 申请(专利权)人: 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 代理人: 罗京;郑盈
地址: 214112 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一连续镀膜设备和连续镀膜方法,其中所述连续镀膜设备包括一辅助腔体和一工作腔体,通过对于所述辅助腔体预抽真空可以使得样品自所述辅助腔体被直接运输至所述工作腔体,所述工作腔体由于不需要和外部环境连通因此可以维持在预设的真空度,从而使得整个镀膜过程连续化。
搜索关键词: 连续 镀膜 设备 方法
【主权项】:
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  • 本实用新型公开了一种物理气相沉积设备,包括壳体,所述壳体的内部自下而上依次开设有真空覆膜室、清洁室、储水室;所述真空覆膜室的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件;所述真空覆膜室与清洁室之间设置有通孔,所述通孔的内侧开设有收纳槽,所述收纳槽的内部滑动连接有密封板,所述壳体的外部固定安装有用于控制密封板移动的第二电动推杆;所述清洁室的内部设置有用于工件清洁的清洁组件。本实用新型将工件的清洁、覆膜一体化,无需在转运浪费时间,也避免工件受污染,导致气相沉积不均匀。
  • 一种可拆分的镀膜设备-202320774203.0
  • 臧世伟 - 重庆金美新材料科技有限公司
  • 2023-04-10 - 2023-10-03 - C23C14/56
  • 本实用新型提供一种可拆分的镀膜设备,该可拆分的镀膜设备包括:真空腔体,以及设置在真空腔体内部的放卷辊、收卷辊、可拆分的上镀膜单元组和可拆分的下镀膜单元组;其中,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上;上镀膜单元组和下镀膜单元组可拆卸的安装在真空腔体上。本实用新型实施例中的上镀膜单元组和下镀膜单元组分别可拆分,并可拆卸的安装在真空腔体上,可以方便更换镀膜单元以适应不同的镀膜工艺;另外,放卷辊和收卷辊滑动地设置在真空腔体上,易于调整薄膜放卷和收卷时的张力。
  • 一种防静电的薄膜生产装置-202321076776.2
  • 臧世伟;刘文卿 - 重庆金美新材料科技有限公司
  • 2023-05-08 - 2023-10-03 - C23C14/56
  • 本实用新型提供一种防静电的薄膜生产装置,所述薄膜生产装置包括:真空腔体、设置在所述真空腔体内部的放卷辊、收卷辊和冷却主鼓,以及设置在所述放卷辊的上方和/或下方的除静电机构。本实用新型实施例通过在放卷辊处防止除静电机构,可以去除放卷时产生的静电,可以避免因为静电而导致薄膜材料无法完全展平,致使金属薄膜出现纵向纹路或斜向纹路、甚至褶皱等品质不良的技术问题。
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