[发明专利]等离子体表面处理设备及方法在审
申请号: | 202010089609.6 | 申请日: | 2020-02-12 |
公开(公告)号: | CN111161994A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 万良淏;徐龙;万京林 | 申请(专利权)人: | 南京苏曼等离子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 金子娟 |
地址: | 211178 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种等离子体表面处理设备及方法,所述等离子体表面处理设备,包括工装组件,其特征在于,设有吸附系统:所述工装组件包括工装块,工装块顶面用于放置待处理的产品工件,在被产品工件覆盖的位置,工装块上设有至少一个吸附孔;所述吸附系统包括吸附风机,工装块上的吸附孔通过气路与吸附风机连接,设备工作时,通过吸附风机将产品工件吸附在工装块上。本发明等离子体表面处理设备及方法,可有效避免了工件产品被射流等离子体吹移动的现象,极大的提高生产的稳定性、该工序处理结果的达标率和整个生产线的产品合格率。同时,本发明还具有对产品种类的适用范围广,改造成本低的优点,适合推广使用。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 表面 处理 设备 方法 | ||
【主权项】:
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