[发明专利]新型晶圆半导体生产辅助设备有效
| 申请号： | 202010058708.8 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111229711B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吴明;俞伟 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝特光学股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/14;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所(普通合伙) 33384 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314023 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆半导体技术领域，且公开了新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱，清洗箱的内部设置有一个清洗框，清洗框的表面开设有漏水孔，清洗框的内壁上端铰接有一块矩形盖板，清洗框的上表面固定连接有把手，清洗框的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板，该新型晶圆半导体生产辅助设备，通过电机的转动带动转轴的转动，转轴的转动带动凸轮的转动在配合弧形杆，从而可以使弧形杆进行上下移动，弧形杆的上下移动带动漂洗板的上下移动，漂洗板的上下移动的带动清洗框进行上下移动，从而对清洗框内部的晶圆进行上下抖动的清洗，通过这样漂洗的方式不仅可以使用大批量的清洗，还可以使晶圆清洗的更加干净。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 半导体 生产 辅助 设备 | ||
【主权项】：
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