[发明专利]一种粉体专用真空气相沉积炉有效
| 申请号： | 202010042981.1 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113122820B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 言伟雄 | 申请（专利权）人： | 株洲弗拉德科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/517;C23C16/52;C23C16/24;C23C16/56;C23C16/455;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨千寻;冯振宁 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种粉体专用真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、冷却炉体、称重传感器、真空通道、上电极、下电极、进料管、测温部件；所述加热炉体内设置有搅拌轴和导流板。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 专用 空气 沉积 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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