[发明专利]一种双层沟道结构的突触晶体管在审
申请号: | 202010040658.0 | 申请日: | 2020-01-14 |
公开(公告)号: | CN111211162A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 霍文星 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L29/10 | 分类号: | H01L29/10;H01L29/24;H01L29/78 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 曹玉平 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种双层沟道结构的突触晶体管,包括衬底,所述衬底上设置有通过栅绝缘层与源电极、漏电极相隔开的栅电极,所述源电极和漏电极在同层间隔设置;所述栅绝缘层与源电极、漏电极之间设置有低电阻率沟道层和高电阻率沟道层;所述低电阻率沟道层位于栅绝缘层与高电阻率沟道层之间,所述低电阻率沟道层的厚度为3nm‑10nm;所述高电阻率沟道层位于低电阻率沟道层与源电极、漏电极之间,所述高电阻率沟道层的厚度为40nm‑100nm。本发明旨在提供一种通过在晶体管内设置高低电阻的双层沟道结构,使晶体管的转移特性曲线中制造出存储窗口,实现仿生突触信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 双层 沟道 结构 突触 晶体管 | ||
【主权项】:
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