[发明专利]一种金属蒸发镀膜冷阴极电子枪的电源装置及其控制方法

摘要

一种金属蒸发镀膜冷阴极电子枪的电源装置及其控制方法，该电源装置包括束流调控与运行状态监控的整体控制电路，与所述整体控制电路电性连接且用于驱动所述冷阴极电子枪的功率电路，所述整体控制电路设有DSP微处理器。本发明通过漏束检测电路将强磁偏转系统中漏束传感器检测信号引入到DSP微处理器中，当检测到漏束信号出现时，即束流导引通道存在漏束现象，关闭电源装置的电压输出，以保护束流导引通道及金属蒸发镀膜装置，从而保障镀膜过程正常进行；此外，DSP微处理器将束流输出大小与气流输入量、真空度的比较，判断是否出现发生惰性气体清除效应，当出现惰性气体清除效应，发出报警信号，提示操作人员清理冷阴极电子枪的阴极。