[发明专利]一种光学器件内曲面的镀膜方法有效
| 申请号： | 202010022664.3 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN113106403B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 须贺唯知;王英辉;母凤文;陆阳婷 | 申请（专利权）人： | 昆山微电子技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘翠香 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光学器件内曲面的镀膜方法，包括提供一个具有第一表面和第二表面的软基板，在所述第一表面镀膜；将所述软基板固定在外形与所述光学器件内曲面相匹配的模具表面，其中，所述第一表面与所述模具的外表面相接触；将所述模具插入所述光学器件内曲面并将所述软基板与所述光学器件内曲面键合在一起；取出所述模具。上述光学器件内曲面的镀膜方法，能够对光学器件的内部曲面进行镀膜，得到均匀光滑平整的镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 器件 曲面 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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