[发明专利]感光性树脂组合物及干膜，感光性干膜、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法在审
| 申请号： | 201980084592.0 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN113260921A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 片山翔太;海老泽和明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;H05K3/18 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供用于利用h线的曝光且镀覆液抗性及裂纹抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物；具备由化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜；及感光性干膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板、使用带铸模基板的镀覆造型物的制造方法。化学放大型正型感光性树脂组合物为了制作在具有金属表面的基板上形成镀覆造型物用的铸模而使用，含有产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)，产酸剂(A)包含具有特定萘二甲酰亚胺骨架的产酸剂，丙烯酸树脂相对于树脂(B)与树脂(B)以外的树脂的合计比例为70质量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 抗蚀剂膜 铸模 镀覆 造型 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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