[发明专利]用于高通量离子束处理的萃取装置以及系统在审
| 申请号： | 201980059434.X | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112689882A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 科斯特尔·拜洛;乔·波鲁;詹姆士·P·布诺德诺 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一个实施例中，提供一种用于萃取多个离子束的离子萃取光学器件。所述离子萃取光学器件可包括萃取板，所述萃取板界定切口区域，所述切口区域沿第一方向伸长。所述萃取装置可包括可滑动插入件，所述可滑动插入件被设置成与所述切口区域重叠，且能够相对于所述萃取板沿所述第一方向可滑动地移动，其中所述可滑动插入件及所述切口区域界定第一开孔及第二开孔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通量 离子束 处理 萃取 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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