[发明专利]包括二维材料的晶体管及相关半导体装置、系统及方法在审
申请号: | 201980056821.8 | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN112640126A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | W·库拉;G·S·桑胡;J·A·斯迈思 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/66;H01L21/8234;H01L21/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王艳娇 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种晶体管,其包括材料上的沟道区域。所述沟道区域包括二维材料,其包括对置侧壁且定向为垂直于所述材料。栅极电介质位于所述二维材料上且栅极位于所述栅极电介质上。本发明公开包含至少一个晶体管的半导体装置及系统,以及形成半导体装置的方法。 | ||
搜索关键词: | 包括 二维 材料 晶体管 相关 半导体 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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