[发明专利]感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法在审
| 申请号： | 201980051908.6 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112534351A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 小坂隼也 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/031 | 分类号： | G03F7/031;C08F2/50;C08F290/06;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/033;G03F7/20;G03F7/38;G03F7/40;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供曝光后进行加热再进行显影时的灵敏度、密合性、线宽再现性和分辨力良好，特别是即使从曝光直至显影为止的时间长的情况下也实现良好的密合性的感光性树脂组合物。本发明的一方式提供一种感光性树脂组合物，其含有：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％；和(D)酚系阻聚剂：1ppm～300ppm，所述感光性树脂组合物在375nm和405nm中的至少一者下的透光率为58％～95％。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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