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[发明专利]感光性树脂层叠体-CN202180072078.2在审
发明人：国松真一;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B32B27/16 文献下载
摘要：本申请提供一种感光性树脂层叠体，其包含支承薄膜和层叠在上述支承薄膜上的感光性树脂层。上述感光性树脂层包含30质量％～70质量％的碱溶性高分子、20质量％～50质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子包含具有芳香族基团的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，且酸当量为350以上。上述具有烯属不饱和双键的化合物含有以其总质量作为基准计为50质量％～100质量％的丙烯酸酯单体，且双键当量为150以上。上述感光性树脂层的厚度为30μm以上。
感光性树脂层叠

[发明专利]感光性树脂组合物-CN202310298175.4在审
发明人：山田有里;小坂隼也;松田隆之 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201880015154.4有效
发明人：山田有里;小坂隼也;松田隆之 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G03F7/031 文献下载
摘要：提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN202211076767.3在审
发明人：内藤一也;落合真彦;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供：激光直接成像型曝光方式中，比以往使用的敏化剂灵敏度(生产率)、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物；等。一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，(D)光敏化剂包含通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物。式(2)中，R3、R4、R5分别表示氰基，c、e分别独立地表示1～5的整数，而且，d表示0～4的整数。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201880013871.3有效
发明人：内藤一也;落合真彦;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G03F7/031 文献下载
摘要：提供：激光直接成像型曝光方式中，比以往使用的敏化剂灵敏度(生产率)、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物；等。一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，(D)光敏化剂包含通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物。式(2)中，R3、R4、R5分别表示氰基，c、e分别独立地表示1～5的整数，而且，d表示0～4的整数。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体-CN202080078423.9在审
发明人：田尻十南;小坂隼也;山田辉久;国松真一 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：提供一种在支承薄膜上层叠有感光性树脂层的感光性树脂层叠体，所述感光性树脂层包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子10～90质量％、(B)具有烯属不饱和双键的化合物5～70质量％和(C)光聚合引发剂0.01～20质量％，前述(A)碱溶性高分子包含共聚物，所述共聚物包含具有碳原子数3～12的烷基的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，作为前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物，含有相对于前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物总量为51～100质量％的丙烯酸酯单体，将包含前述感光性树脂组合物的感光性树脂层的膜厚记作T(μm)，并将波长365nm下的吸光度记作A，满足0A/T≤0.007所示的关系，并且，包含前述感光性树脂组合物的感光性树脂层的膜厚为40μm以上且600μm以下。
感光性树脂组合层叠

[发明专利]感光性树脂组合物-CN202111430178.6在审
发明人：内藤一也;山田有里;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2016-09-07 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性高分子、具有烯属双键的化合物、以及光聚合引发剂，在层叠有18μm厚度的铜箔的覆铜层叠板上以25μm厚度层叠由前述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层，经过线/间隔＝50μm/30μm的图案状的光照射和显影处理而形成固化抗蚀图案，在50℃下实施55秒的铜蚀刻处理后，去除前述固化抗蚀图案而得到的铜线图案的底部宽度为38μm以上。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201680052525.7有效
发明人：内藤一也;山田有里;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2016-09-07 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶性高分子、具有烯属双键的化合物、以及光聚合引发剂，在层叠有18μm厚度的铜箔的覆铜层叠板上以25μm厚度层叠由前述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层，经过线/间隔＝50μm/30μm的图案状的光照射和显影处理而形成固化抗蚀图案，在50℃下实施55秒的铜蚀刻处理后，去除前述固化抗蚀图案而得到的铜线图案的底部宽度为38μm以上。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物及抗蚀图案的形成方法-CN201980051908.6在审
发明人： 小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： G03F7/031 文献下载
摘要：提供曝光后进行加热再进行显影时的灵敏度、密合性、线宽再现性和分辨力良好，特别是即使从曝光直至显影为止的时间长的情况下也实现良好的密合性的感光性树脂组合物。本发明的一方式提供一种感光性树脂组合物，其含有：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％；和(D)酚系阻聚剂：1ppm～300ppm，所述感光性树脂组合物在375nm和405nm中的至少一者下的透光率为58％～95％。
感光性树脂组合图案形成方法

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