[发明专利]铝合金靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201980036620.1 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN112204165B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 中村亮太;永田智啓;赤松泰彦;小林大士;氏原祐辅;中台保夫;新田纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;H01L21/203;H01L21/28;H01L29/786 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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