[发明专利]用于密封MEMS传感器组件中的两个填充以不同流体的室的设备有效
| 申请号： | 201980028265.3 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN112041597B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | W·韦特曼-德尔金;E·施特拉特曼;M·穆奇勒 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/02 | 分类号： | F16J15/02;F16J15/06;F16L55/13;G01L19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于密封MEMS传感器组件中的填充以流体的室(2)的密封设备(1)，包括密封装置(4)，其中，所述密封装置(4)包括通道(5)，该通道与所述室(2)连接，其中，在所述通道(5)中布置有用于密封所述通道(5)的密封元件(6)，使得所述通道(5)和/或所述密封元件(6)构造成使得所述密封元件(6)通过机械夹紧密封地固定在所述通道(5)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 密封 mems 传感器 组件 中的 两个 填充 不同 流体 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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