[发明专利]信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统在审
| 申请号： | 201980011654.5 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN111684541A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 茂木弘典;加藤隆彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G16Z99/00 | 分类号： | G16Z99/00;G06Q10/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种信息处理装置，包括：记录单元，记录用于对被处理体的变化进行再现的模型数据，模型数据是根据被处理体的开始状态数据与在预定处理条件下对被处理体执行工艺处理后的被处理体的结束状态数据之间的差分数据，作为工艺处理的效果构建而成；输入接受单元，接受被处理体的开始状态数据及作为目标的被处理体的结束状态数据的输入；预测单元，使用记录在记录单元中的模型数据及多个模型数据的组合，对输入接受单元接受的被处理体的开始状态数据的被处理体的结束状态数据进行预测；以及确定单元，基于预测的被处理体的结束状态数据与接受的作为目标的被处理体的结束状态数据之间的接近度，确定对被处理体执行的工艺处理的预定处理条件。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 程序 工艺 处理 执行 系统 | ||
【主权项】：
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