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[发明专利]参数导出装置、参数导出方法和参数导出程序-CN202180086058.0在审
发明人： 加藤隆彦;茂木弘典 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种参数导出装置、参数导出方法和参数导出程序，其使用形状模拟器，导出模拟参数的全局性最佳解。参数导出装置包括：生成部，用于生成表示在相同处理条件下处理的基板的处理前形状的数据和表示处理后形状的数据的多个组合，在所述多个组合中，表示处理前或处理后的任意一者的形状的数据不同于其他组合的表示处理前或处理后的形状的数据；以及导出部，用于导出使表示所预测的处理后的形状的数据与表示对应的处理后的形状的数据的各差分值的总和最小的、形状模拟器的模拟参数的值，所述所预测的处理后的形状是通过将所述多个组合中包含的表示各自处理前的形状的数据输入到所述形状模拟器中来预测的。
参数导出装置方法程序

[发明专利]评价装置、评价方法以及评价程序-CN202210517992.X在审
发明人：穐山大志郎;小川裕亮;水内毅;加藤隆彦;小松智希;中乡孝祐;大友雄平;刘鸿志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种评价装置,具有:存储部,其将以将处理前的对象物的形状信息输入形状模拟器的情况下的输出接近在规定的处理条件下对处理前的对象物进行处理的情况下的处理后的对象物的形状信息的方式计算的形状模拟器的模拟参数与表示被视为与处理前的对象物相同的形状的形状范围的第一范围信息或者表示被视为与处理后的对象物相同的形状的形状范围的第二范围信息建立对应关系地进行存储；预测部,其将处理前新的对象物的形状信息和模拟参数输入形状模拟器,对于处理后的新的对象物的形状信息进行预测；以及评价部,其输出将处理前的新的对象物的形状信息与第一范围信息对比的结果或者输出将处理后的新的对象物的形状信息与第二范围信息对比的结果。
评价装置方法以及程序

[发明专利]学习装置、推断装置及学习完成模型-CN201980057338.1在审
发明人：中乡孝祐;本木大资;渡部正树;小松智希;茂木弘典;本田昌伸;加藤隆彦;新关智彦 -专利权人：首选网络株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于提高制造工艺的仿真精度的学习装置。该学习装置包括：取得部，取得对象物的图像数据和关于针对所述对象物的处理的数据；以及学习部，向学习模型输入所述对象物的图像数据和关于所述处理的数据，并且以使所述学习模型的输出接近所述处理后的所述对象物的图像数据的方式，使所述学习模型进行学习。
学习装置推断完成模型

[发明专利]数据处理装置、数据处理方法和程序-CN202010586197.7在审
发明人：茂木弘典;加藤隆彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供数据处理装置、数据处理方法和程序，提高制造工艺的模拟的精度。具有：第1储存部，其储存有以根据针对与制造工艺的规定的步骤建立了对应的多个数据组分别计算出的在该规定的步骤中的效果，对该多个数据组各自在特征空间中的分布进行分类的方式，对该特征空间进行了分割的情况下的确定各区域的解析结果；第2储存部，其将通过被输入被分类于所述特征空间的各区域的数据组而输出与各区域对应的各个效果的多个模型，与各区域建立了对应并储存；以及执行部，其在新取得与所述规定的步骤建立了对应的数据组并基于所述解析结果而判定出该取得的数据组被分类的1个区域的情况下，使用与该1个区域建立了对应地储存的模型进行模拟处理。
数据处理装置方法程序

[发明专利]信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统-CN201980011654.5在审
发明人：茂木弘典;加藤隆彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G16Z99/00 文献下载
摘要：一种信息处理装置，包括：记录单元，记录用于对被处理体的变化进行再现的模型数据，模型数据是根据被处理体的开始状态数据与在预定处理条件下对被处理体执行工艺处理后的被处理体的结束状态数据之间的差分数据，作为工艺处理的效果构建而成；输入接受单元，接受被处理体的开始状态数据及作为目标的被处理体的结束状态数据的输入；预测单元，使用记录在记录单元中的模型数据及多个模型数据的组合，对输入接受单元接受的被处理体的开始状态数据的被处理体的结束状态数据进行预测；以及确定单元，基于预测的被处理体的结束状态数据与接受的作为目标的被处理体的结束状态数据之间的接近度，确定对被处理体执行的工艺处理的预定处理条件。
信息处理装置程序工艺处理执行系统

[发明专利]数据处理装置、数据处理方法以及程序-CN201880083796.8在审
发明人：铃木淳司;加藤隆彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G06F16/00 文献下载
摘要：本发明对在制造工艺中收集到的数据实现通用性高的数据处理。数据处理装置具有：计算单元，收集与工艺内的规定步骤建立对应的数据群，并关于各个数据群来计算该规定步骤中的效果；分割单元，分割特征空间，以便与上述规定步骤建立对应的多个数据群各自在该特征空间中的分布按计算出的每一上述效果被分类；以及输出单元，输出特定数据，该特定数据特定分割后的上述特征空间的各区域。
数据处理装置方法以及程序

[发明专利]高熵合金构件、该合金构件的制造方法、及使用了该合金构件的制造物-CN201680071488.4有效
发明人：藤枝正;桑原孝介;广田守;青田欣也;加藤隆彦;千叶晶彦;小泉雄一郎;山中谦太 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2016-11-08 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C22C30/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供使用具有高机械强度·高耐腐蚀性的高熵合金(HEA)、合金组成·微细组织的均质性优异、并且形状控制性优异的HEA构件、其制造方法、及使用了该HEA构件的制造物。本发明涉及的HEA构件的特征在于，其是由HEA形成的合金构件，其具有下述的化学组成：分别以5原子％以上35原子％以下的范围包含Co、Cr、Fe、Ni、Ti各元素，并且以大于0原子％且为8原子％以下的范围包含Mo，剩余部分由不可避免的杂质构成，前述合金构件中，在母相结晶中分散析出了针状结晶的金属间化合物相。
合金构件制造方法使用

[发明专利]合金部件、该合金部件的制造方法和使用了该合金部件的制造物-CN201680081497.1有效
发明人：藤枝正;广田守;桑原孝介;青田欣也;加藤隆彦;千叶晶彦;小泉雄一郎;山中谦太;渡边精一 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C22C30/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于，使用具有高机械强度、高耐腐蚀性的高熵合金，提供合金组成、微细组织的均质性优异且形状控制性优异的合金部件、其制造方法和使用了该合金部件的制造物。本发明涉及的合金部件的特征在于，具有下述化学组成：分别在5原子％以上35原子％以下的范围含有Co、Cr、Fe、Ni、Ti各元素，且在超过0原子％且为8原子％以下的范围含有Mo，余部包括不可避免的杂质；母相晶体中分散析出有平均粒径40nm以下的极小粒子。
合金部件制造方法使用

[发明专利]电极用膏状组合物和光伏电池-CN201410659024.8有效
发明人：吉田诚人;野尻刚;岩室光则;足立修一郎;木泽桂子;青柳拓也;山本浩贵;内藤孝;加藤隆彦 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2011-01-25 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01B1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种电极用膏状组合物和光伏电池。所述电极用膏状组合物能够形成具有低电阻率的电极，同时抑制铜在烧结时的氧化，而所述光伏电池具有通过使用光伏电池电极用膏状组合物形成的电极。电极用膏状组合物由含铜粒子、玻璃粒子、溶剂和树脂构成，所述含铜粒子在同时测定的热重量分析/差热分析中显示最大面积的放热峰的峰值温度为280℃以上。此外，所述光伏电池具有通过使用光伏电池电极用膏状组合物形成的申.极。
电极膏状组合电池

[发明专利]电极形成用组合物、电极、太阳能电池元件及其制造方法以及太阳能电池-CN201580006053.7有效
发明人：足立修一郎;吉田诚人;野尻刚;仓田靖;栗原祥晃;根本聪美;加藤隆彦 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2015-01-29 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：包含金属粒子和玻璃粒子的电极形成用组合物以及使用该电极形成用组合物形成的电极、具有该电极的太阳能电池元件及其制造方法以及太阳能电池，其中所述金属粒子包含含磷‑锡‑镍的铜合金粒子。
电极形成组合太阳能电池元件及其制造方法以及

[发明专利]蚀刻方法和等离子体处理装置-CN201510076454.1有效
发明人：户村幕树;渡边光;加藤隆彦;本田昌伸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-02-12 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种相对于由氮化硅构成的第2区域而对由氧化硅构成的第1区域选择性地进行蚀刻的蚀刻方法和等离子体处理装置。该方法具有工序(a)和工序(b)。在工序(a)中，将被处理体暴露在碳氟化合物气体的等离子体中而在第2区域上形成比形成在第1区域上的保护膜厚的保护膜。在工序(b)中，利用碳氟化合物气体的等离子体来对第1区域进行蚀刻。在工序(a)中，将被处理体的温度设定为60℃～250℃的温度。
蚀刻方法等离子体处理装置

[发明专利]布线构件和其制造方法、以及布线构件粘接体的制造方法-CN201280036782.3有效
发明人：栗原祥晃;吉田诚人;野尻刚;仓田靖;足立修一郎;加藤隆彦 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种布线构件，其包含导电件；和配置于所述导电件的表面的至少一部分区域上，且包含非共晶焊料材料的焊料被覆层。
布线构件制造方法以及粘接体

[发明专利]电极用糊剂组合物及太阳能电池-CN201510145600.1有效
发明人：足立修一郎;吉田诚人;野尻刚;岩室光则;木泽桂子;青柳拓也;山本浩贵;内藤孝;加藤隆彦 -专利权人：日立化成工业株式会社
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01B1/22 文献下载
摘要：本发明提供一种电极用糊剂组合物，其含有含磷率为6质量％以上且8质量％以下的含磷的铜合金粒子、玻璃粒子、溶剂和树脂而构成。此外，还提供一种太阳能电池，其具有使用该电极用糊剂组合物而形成的电极。
电极用糊剂组合太阳能电池

[发明专利]电极用糊剂组合物、太阳能电池元件以及太阳能电池-CN201180070035.7有效
发明人：足立修一郎;吉田诚人;野尻刚;岩室光则;木泽桂子;青柳拓也;山本浩贵;内藤孝;加藤隆彦 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2011-04-28 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01B1/22 文献下载
摘要：本发明提供一种电极用糊剂组合物，其包含含有磷‑锡的铜合金粒子、玻璃粒子、溶剂和树脂。另外，本发明还提供具有使用该电极用糊剂组合物而形成的电极的太阳能电池元件以及太阳能电池。
电极用糊剂组合太阳能电池元件以及

[发明专利]电极形成用组合物，太阳能电池元件和太阳能电池-CN201380076538.4在审
发明人：足立修一郎;吉田诚人;野尻刚;仓田靖;栗原祥晃;加藤隆彦 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： H01B1/22 文献下载
摘要：本发明的电极形成用组合物含有：含磷铜合金粒子、含锡粒子、含有特定金属元素M[M表示选自Li、Be、Na、Mg、K、Ca、Rb、Sr、Cs、Ba、Fr、Ra、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Pd、Ag、Cd、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Hg、Al、Ga、Ge、In、Sb、Tl、Pb、Bi和Po中的至少1种]的粒子、玻璃粒子、溶剂和树脂。
电极形成组合太阳能电池元件

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