[实用新型]一种半导体加工用机械组件

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工用机械组件，包括半导体组架和防护杆，所述半导体组架的内部底端固定有液压缸，且液压缸的顶端连接有升降杆，所述液压缸的内部焊接有护架，所述升降杆的顶部设置有夹持架，且夹持架的顶端安装有卡合架，所述防护杆设置于卡合架的顶端两侧，所述半导体组架的顶端连接有半导体安装架，所述卡合架的内部中部设置有散热网。该半导体加工用机械组件，有效的将中空结构的卡合架安装在半导体安装架之间，可将散热网和隔离弹簧安装在半导体安装架之间，依靠隔离弹簧的弹性能够使得散热网之间保持一定的散热空间，提高半导体加工过程中散热流通性，提高半导体组件整体加固效果。