[实用新型]一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车

摘要

本实用新型提供了一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，包括车架，车架下端固定有若干万向轮，车架上端分别固定有第一支架和第二支架，第一支架的上端固定安装有摆线针轮减速机和旋转阻尼缸；旋转阻尼缸包括壳体和第一转轴，第一转轴转动连接于壳体上，第一转轴上固定有转子，壳体与第一转轴、转子之间形成横截面为扇形的油腔，油腔内充满满了粘性流体，转子上固定有叶片，叶片将油腔分割，叶片上开设有溢流孔；第一转轴的一端固定有第一翻转架，第一转轴的另一端通过联轴器与摆线针轮减速机的输出轴相连；摆线针轮减速机的输入轴上固定有转轮，转轮上固定有把手。本实用新型具有结构简单、省力轻便、使用安全等优点。