[实用新型]一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车

说明书

本实用新型提供了一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，包括车架，车架下端固定有若干万向轮，车架上端分别固定有第一支架和第二支架，第一支架的上端固定安装有摆线针轮减速机和旋转阻尼缸；旋转阻尼缸包括壳体和第一转轴，第一转轴转动连接于壳体上，第一转轴上固定有转子，壳体与第一转轴、转子之间形成横截面为扇形的油腔，油腔内充满满了粘性流体，转子上固定有叶片，叶片将油腔分割，叶片上开设有溢流孔；第一转轴的一端固定有第一翻转架，第一转轴的另一端通过联轴器与摆线针轮减速机的输出轴相连；摆线针轮减速机的输入轴上固定有转轮，转轮上固定有把手。本实用新型具有结构简单、省力轻便、使用安全等优点。

技术领域

本实用新型涉及玻璃加工设备领域，特别涉及一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车。

背景技术

磁控溅射镀膜生产线是镀膜玻璃企业的主要生产设备，而其于实际生产中是需要经常清理保养的，且常常需对其内的靶材进行更换。由于靶材安装室于生产线上时，其开口朝下，故若直接采用天车将靶材室吊起后，于其下进行靶材更换有诸多不便，且在人员安全保障上更显不足，需将靶材室进行翻转。

实用新型内容

本实用新型的目的在于设计出一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，便于工作人员使用对靶材室进行翻转，从而使靶材更换工作更加便捷、安全。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，其特征在于，本靶材更换小车包括车架，所述车架下端固定有若干万向轮，所述车架上端分别固定有第一支架和第二支架，所述第一支架的上端固定安装有摆线针轮减速机和旋转阻尼缸；所述旋转阻尼缸包括壳体和第一转轴，所述第一转轴转动连接于壳体上，所述第一转轴上固定有转子，所述壳体与第一转轴、转子之间形成横截面为扇形的油腔，所述油腔内充满满了粘性流体，所述转子上固定有叶片，所述叶片将油腔分割，所述叶片上开设有溢流孔；所述第一转轴的一端固定有第一翻转架，第一转轴的另一端通过联轴器与摆线针轮减速机的输出轴相连；所述摆线针轮减速机的输入轴上固定有手轮，所述手轮上固定有把手；所述第二支架的上端固定安装有轴承箱，所述轴承箱上转动连接有第二转轴，所述第二转轴上固定连接有第二翻转架；所述第一翻转架和第二翻转架上均固定有垫块和定位桩，第一翻转架和第二翻转架上均螺纹连接有若干螺栓，各螺栓上均套设有压块。

靶材室的固定：需要更换靶材时，可先将本靶材更换小车推至磁控溅射镀膜线附近需更换靶材的靶材室附近，并保证其上的定位桩均朝上，同时压块均横向摆放；接着通过天车将靶材室卸下镀膜线后，将其置于本换靶小车的第一翻转架和第二翻转架之间(靶材室的两端边缘处时具有通孔的，工作人员可将其两端的通孔均套在定位桩上，然后缓慢下放靶材室，使其完全放置在第一翻转架和第二翻转架之间)；最后，依次转动压块，使其压住垫块及靶材室的边缘，并拧紧螺栓，将所有压块均固定牢靠，这样，靶材室就于第一翻转架和第二翻转架之间固定牢靠了。于翻转架上设置定位桩，使工作人员能够快速实现靶材室进行定位，使其固定工作更加便捷。

靶材室的翻转：本靶材更换小车的手动端采用减速效果良好的摆线针轮减速机，工作人员只需转动其上的手轮，即可实现靶材室的翻转；在摆线针轮减速机的作用下，工作人员仅需很小的力便可实现靶材室的翻转，使后续的靶材更换工作更为便捷。

旋转阻尼缸：本靶材更换小车的旋转阻尼缸壳体内具有一横截面为扇形的油腔，其保证了其内的粘性流体无法随着叶片回旋流动，而叶片上开设有溢流孔，其使得叶片于旋转阻尼缸内仅能够缓慢运动，进而限制了转子及第一转轴的旋转速度，从而使翻转架也仅能以缓慢的速度翻转，并且，油腔所在的扇形的圆心角应大于200度，进而保证第一翻转架、第二翻转架能够实现翻转动作；同时，由于靶材室的较重，其发生倾斜后会对对第一转轴、第二转轴产生较大的转动力，此时，旋转阻尼缸便可发挥作用，使其不至于带动摆线针轮减速机的手动端快速转动而带来危险。

在上述一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车中，所述轴承箱和旋转阻尼缸的外壁面上均设有若干插销，所述第一翻转架和第二翻转架侧壁上均开设有与各插销相对应的锁止孔。