[实用新型]一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车

权利要求书

1.一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，其特征在于，本靶材更换小车包括车架(1)，所述车架(1)下端固定有若干万向轮(2)，所述车架(1)上端分别固定有第一支架(3)和第二支架(4)，所述第一支架(3)的上端固定安装有摆线针轮减速机(5)和旋转阻尼缸(6)；所述旋转阻尼缸(6)包括壳体(61)和第一转轴(62)，所述第一转轴(62)转动连接于壳体(61)上，所述第一转轴(62)上固定有转子(63)，所述壳体(61)与第一转轴(62)、转子(63)之间形成横截面为扇形的油腔(64)，所述油腔(64)内充满满了粘性流体，所述转子(63)上固定有叶片(65)，所述叶片(65)将油腔(64)分割，所述叶片(65)上开设有溢流孔(66)；所述第一转轴(62)的一端固定有第一翻转架(a)，第一转轴(62)的另一端通过联轴器(7)与摆线针轮减速机(5)的输出轴(51)相连；所述摆线针轮减速机(5)的输入轴(52)上固定有手轮(53)，所述手轮(53)上固定有把手(54)；所述第二支架(4)的上端固定安装有轴承箱(8)，所述轴承箱(8)上转动连接有第二转轴(81)，所述第二转轴(81)上固定连接有第二翻转架(b)；所述第一翻转架(a)和第二翻转架(b)上均固定有垫块(c)和定位桩(d)，第一翻转架(a)和第二翻转架(b)上均螺纹连接有若干螺栓(e)，各螺栓(e)上均套设有压块(f)。

2.根据权利要求1所述一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车，其特征在于，所述轴承箱(8)和旋转阻尼缸(6)的外壁面上均设有若干插销(9)，所述第一翻转架(a)和第二翻转架(b)侧壁上均开设有与各插销(9)相对应的锁止孔(91)。