[实用新型]一种加热装置和光刻机有效
| 申请号： | 201920802638.5 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN209821589U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 郝保同;李文东 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种加热装置和光刻机，所述加热装置用于加热介质，所述加热装置包括导热管、套设在所述导热管的外表面上的至少一个加热片，所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次设置，所述加热片用于产生热量，所述加热片包括内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层，所述内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层沿着从所述加热片靠近所述所述导热管的一面到远离所述导热管的一面依次设置，所述内绝缘介质层用于所述导热管与所述电阻发热层之间的绝缘，所述外绝缘介质层用于所述电阻发热层的绝缘。本实用新型中的加热装置和光刻机的换热效率可有效改善。 | ||
| 搜索关键词： | 导热管 加热片 电阻发热层 加热装置 内绝缘介质层 外绝缘介质层 本实用新型 依次设置 光刻机 绝缘 加热介质 热效率 流出 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，用于加热介质，其特征在于，包括导热管、套设在所述导热管的外表面上的至少一个加热片，所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次设置，所述加热片用于产生热量，所述加热片包括内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层，所述内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层沿着从所述加热片靠近所述导热管的一面到远离所述导热管的一面依次设置，所述内绝缘介质层用于所述导热管与所述电阻发热层之间的绝缘，所述外绝缘介质层用于所述电阻发热层的绝缘。/n
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