[实用新型]一种加热装置和光刻机

说明书

本实用新型提供的一种加热装置和光刻机，所述加热装置用于加热介质，所述加热装置包括导热管、套设在所述导热管的外表面上的至少一个加热片，所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次设置，所述加热片用于产生热量，所述加热片包括内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层，所述内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层沿着从所述加热片靠近所述所述导热管的一面到远离所述导热管的一面依次设置，所述内绝缘介质层用于所述导热管与所述电阻发热层之间的绝缘，所述外绝缘介质层用于所述电阻发热层的绝缘。本实用新型中的加热装置和光刻机的换热效率可有效改善。

技术领域

本实用新型涉及加热技术领域，特别涉及一种加热装置和光刻机。

背景技术

在光刻机中，对于温度要求高的被控对象，尤其是大热容对象，需要采用具有较高温度精度的液体进行温度控制，因此液体的温度精度是影响被控对象精度的关键因素，而液体的温度精度由液体的温度控制情况决定。目前光刻机中使用的液体多采用冷却后加热的方式进行温度控制，加热时多采用相应的加热装置对液体进行加热。

现有技术中的加热装置通常包括一用于容置液体的加热容器，以及设置在加热容器的内腔中的加热器，所述加热器可对所述液体进行加热。如图1所示，图1是现有技术中的一种加热装置的结构示意图，所述加热容器为箱体110，所述加热器为加热丝120，箱体110的进水口111设置在箱体的一侧，箱体110的排水口112设置在箱体110的顶部，液体冷却后由箱体110的进水口111进入箱体110的内腔中，经设置在箱体110的内腔中的三组加热丝加热后从箱体110顶部的排水口112流出。

由于液体经三组加热丝120加热后从位于箱体110顶部的排水口112流出，因此箱体110的内部始终充满液体，导致液体在箱体110内的流速较慢，从而导致整个加热装置的换热系数K不大，换热效率低，进而导致液体的温升速率较慢，容易出现温漂现象。其次，加热丝120安装在箱体110的内壁的法兰上，法兰需要通过螺栓紧固在箱体的内壁上，对于始终充满液体的箱体110而言有漏液的风险。另外，因箱体110内始终充满液体，因此箱体110为一个压力容器，导致箱体110的加工工艺要求高，从而导致加热装置的制造成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热装置和光刻机，以解决现有的加热装置和光刻机换热效率低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种加热装置，用于加热介质，其特征在于，包括导热管、套设在所述导热管的外表面上的至少一个加热片，所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次设置，所述加热片用于产生热量，所述加热片包括内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层，所述内绝缘介质层、电阻发热层和外绝缘介质层沿着从所述加热片靠近所述所述导热管的一面到远离所述导热管的一面依次设置，所述内绝缘介质层用于所述导热管与所述电阻发热层之间的绝缘，所述外绝缘介质层用于所述电阻发热层的绝缘。

可选的，还包括温度检测装置和控制装置，所述温度检测装置用于检测所述介质的温度，所述控制装置用于根据所述检测装置检测的温度控制所述加热片产生热量。

可选的，所述加热片的数量为三个，三个所述加热片分别为第一加热片、第二加热片和第三加热片，三个所述加热片沿着介质流入导热管的一端向介质流出导热管的一端依次间隔设置。

可选的，所述第一加热片、第二加热片和第三加热片的最大加热功率依次降低、加热精度依次增高。

可选的，所述温度检测装置的数量为三个，分别为第一温度检测装置、第二温度检测装置和第三温度检测装置，所述第一温度检测装置设置在所述第一加热片和所述第二加热片之间，所述第二温度检测装置设置在所述第二加热片和所述第三加热片之间，所述第三温度检测装置设置在所述第三加热片与介质流出所述导热管的一端之间。

可选的，所述第一温度检测装置、所述第二温度检测装置和所述第三温度检测装置的检测精度依次增加。