[发明专利]带电学隔离层的体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备有效

专利信息
申请号: 201911419042.8 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN111030634B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 庞慰;杨清瑞;张孟伦 申请(专利权)人: 诺思(天津)微系统有限责任公司
主分类号: H03H9/15 分类号: H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13
代理公司: 北京金诚同达律师事务所 11651 代理人: 汤雄军
地址: 300462 天津市*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种体声波谐振器,包括:基底;底电极;顶电极;压电层,设置在底电极与顶电极之间;声学镜,其中:所述谐振器还包括电极连接部、电学隔离层和电极引脚;所述电极连接部覆盖所述电学隔离层、且电极连接部的一端与顶电极电连接、另一端适于与电极引脚电连接;所述电学隔离层的一部分在电极连接部与底电极之间形成电学隔离;且所述电学隔离层的至少一部分覆盖所述压电层的端面的至少一部分以及底电极的端面,以在电极连接部与底电极之间形成电学隔离。本发明还公开了一种体声波谐振器的制造方法,一种具有该谐振器的滤波器及具有该滤波器或谐振器的电子设备。
搜索关键词: 电学 隔离 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备
【主权项】:
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