[发明专利]MEMS膜片及MEMS传感器芯片有效
| 申请号： | 201911411305.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111137841B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 何宪龙 | 申请（专利权）人： | 共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 沈祖锋;吴京隆 |
| 地址： | 261000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS膜片，包括感测部和围绕在所述感测部外围的外围部，所述外围部与所述感测部之间设有若干外槽和若干内槽，所述若干外槽呈环形排布在所述外围部的内边缘，所述若干内槽呈环形排布在所述感测部的外边缘，当所述MEMS膜片受到外部压力时，所述感测部相对所述外围部呈活塞式运动。本发明还提供一种包含MEMS膜片的MEMS传感器芯片。 | ||
| 搜索关键词： | mems 膜片 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于共达电声股份有限公司，未经共达电声股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911411305.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
